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1. WO2020090518 - 基板供給システムおよび基板加工装置

公開番号 WO/2020/090518
公開日 07.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/041058
国際出願日 18.10.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H01L 21/301 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
出願人
  • 三星ダイヤモンド工業株式会社 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 奥田 修 OKUDA, Osamu
代理人
  • 芝野 正雅 SHIBANO, Masanori
  • 大橋 誠 OHASHI, Makoto
優先権情報
2018-20561431.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE SUPPLY SYSTEM AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) SYSTÈME DE FOURNITURE DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板供給システムおよび基板加工装置
要約
(EN)
This substrate supply system (1) supplies substrates (W) to a conveyance path from a cassette (10) which houses a plurality of substrates (W) in a state stacked separated by a prescribed interval, and is provided with: a first storage unit (101) which detachably stores a first cassette (10); a second storage unit (102) which detachably stores a second cassette (20); a pull-out mechanism (200) which pulls substrates (W) out of the first cassette (10) and the second cassette (20) in a direction perpendicular to the direction of stacking of the substrates (W) and transfers these to the conveyance path; and a moving mechanism (300) which moves the pull-out mechanism (200) between the first storage unit (101) and the second storage unit (102).
(FR)
La présente invention concerne un système de fourniture de substrat (1) qui fournit des substrats (W) à un trajet de transport à partir d'une cassette (10) qui reçoit une pluralité de substrats (W) dans un état empilé séparés par un intervalle prescrit, et comprend : une première unité de stockage (101) qui stocke de manière amovible une première cassette (10) ; une seconde unité de stockage (102) qui stocke de manière amovible une seconde cassette (20) ; un mécanisme de retrait (200) qui retire des substrats (W) de la première cassette (10) et de la seconde cassette (20) dans une direction perpendiculaire à la direction d'empilement des substrats (W) et les transfère au trajet de transport ; et un mécanisme de déplacement (300) qui déplace le mécanisme de retrait (200) entre la première unité de stockage (101) et la seconde unité de stockage (102).
(JA)
複数の基板(W)を所定の間隔で積層した状態で収容するカセット(10)から基板(W)を搬送路に供給する基板供給システム(1)であって、第1のカセット(10)を着脱可能に収納する第1の収納部(101)と、第2のカセット(20)を着脱可能に収納する第2の収納部(102)と、基板(W)を第1のカセット(10)および第2のカセット(20)から基板(W)の積層方向に垂直な方向に引き出して搬送路に受け渡す引き出し機構(200)と、引き出し機構(200)を第1の収納部(101)と第2の収納部(102)との間で移動させる移動機構(300)と、を備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報