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1. WO2020090517 - 収納装置および基板加工装置

公開番号 WO/2020/090517
公開日 07.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/041057
国際出願日 18.10.2019
IPC
H01L 21/677 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
H01L 21/301 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
301半導体本体を別個の部品に細分割するため,例.分離する
出願人
  • 三星ダイヤモンド工業株式会社 MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 奥田 修 OKUDA, Osamu
代理人
  • 芝野 正雅 SHIBANO, Masanori
  • 大橋 誠 OHASHI, Makoto
優先権情報
2018-20563031.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) STORAGE DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE STOCKAGE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 収納装置および基板加工装置
要約
(EN)
A plurality of substrates (W) is housed stacked in cassettes (10, 20) so as to be capable of being pulled out, and this storage device (100) stores the cassettes (10, 20) such that the substrates (W) can be pulled out from the cassettes (10, 20) and subjected to a processing step. The storage device is provided with: a mounting unit (110) on which a cassette (10, 20) is detachably mounted; a moving unit (120) which moves the mounting unit (110) horizontally between an attaching/detaching position of the cassette (10, 20) and a storage position of the cassette (10, 20); and a restricting unit (130) which is supported on the mounting unit (110) so as to enable raising and lowering, and which faces the end surface at the back side of the cassette (10, 20) mounted on the mounting unit (110).
(FR)
La présente invention concerne une pluralité de substrats (W) qui sont logés empilés dans des cassettes (10, 20) de manière à pouvoir être retirés, et un dispositif de stockage (100) qui stocke les cassettes (10, 20) de telle sorte que les substrats (W) peuvent être extraits des cassettes (10, 20) et soumis à une étape de traitement. Le dispositif de stockage est pourvu : d'une unité de montage (110) sur laquelle une cassette (10, 20) est montée de manière amovible ; d'une unité de déplacement (120) qui déplace l'unité de montage (110) horizontalement entre une position de fixation/séparation de la cassette (10, 20) et une position de stockage de la cassette (10, 20) ; et d'une unité de restriction (130) qui est supportée sur l'unité de montage (110) de façon à permettre l'élévation et l'abaissement, et qui fait face à la surface d'extrémité au niveau du côté arrière de la cassette (10, 20) montée sur l'unité de montage (110).
(JA)
複数の基板(W)が引き出し可能に積層して収容されたカセット(10、20)から基板(W)を引き出して処理工程に供するために、カセット(10、20)を収納する収納装置(100)であって、カセット(10、20)が着脱可能に載置される載置部(110)と、カセット(10、20)の着脱位置とカセット(10、20)の収納位置との間で載置部(110)を水平に移動させる移動部(120)と、載置部(110)に昇降可能に支持され、載置部(110)に載置されたカセット(10、20)の奥側の端面に対向する規制部(130)と、を備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報