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1. WO2020089986 - 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器

公開番号 WO/2020/089986
公開日 07.05.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/040192
国際出願日 29.10.2018
IPC
H01L 21/673 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673特に適合するキャリアを使用するもの
出願人
  • ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 松鳥 千明 MATSUTORI Chiaki
代理人
  • 正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki
  • 林 一好 HAYASHI Kazuyoshi
  • 岩池 満 IWAIKE Mitsuru
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) METHOD FOR MOLDING SUBSTRATE STORAGE CONTAINER, MOLD, AND SUBSTRATE STORAGE CONTAINER
(FR) PROCÉDÉ DE MOULAGE DE CONTENANT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT, MOULE, ET CONTENANT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器
要約
(EN)
This method for molding a substrate storage container 1 has: a container body molding step for molding a container body 2 in a state in which in a molding space M0 inside a mold M having a fixed die M2 and a movable die M, a direction P2 perpendicular to a plane P1, which passes through the entire peripheral end edge of an opening peripheral edge section 28 of the container body 2, is inclined in a direction forming a predetermined angle a2 with respect to the horizontal direction L1 in which the movable die M1 moves relative to the fixed die M2; and a drawing step for drawing, from the movable die, the container body 2 which has been formed in the molding space M0.
(FR)
La présente invention concerne un procédé de moulage d'un contenant de stockage de substrat 1 , qui comprend : une étape de moulage de corps de contenant consistant à mouler un corps de contenant 2 dans un état dans lequel, dans un espace de moulage M0 à l'intérieur d'un moule M comprenant une matrice fixe M2 et une matrice mobile M1, une direction P2, perpendiculaire à un plan P1 qui passe par l'ensemble du bord d'extrémité périphérique d'une partie bord périphérique d'ouverture 28 du corps de contenant 2, est inclinée dans une direction formant un angle prédéterminé a2 avec la direction horizontale L1 dans laquelle la matrice mobile M1 se déplace par rapport à la matrice fixe M2 ; et une étape de démoulage consistant à démouler, de la matrice mobile, le corps de contenant 2 qui a été formé dans l'espace de moulage M0.
(JA)
固定型M2と可動型M1とを有する金型Mの内部の成形空間M0において、固定型M2に対する可動型M1の移動方向である水平方向L1に対して、容器本体2の開口周縁部28の端縁全周を通る平面P1に直交する方向P2が、所定の角度a2をなす方向へ傾いた状態で、容器本体2を成形する容器本体成形工程と、可動型M1を固定型M2から後退するように移動をさせ、可動型M1から成形空間M0において成形された容器本体2を抜く引き抜き工程と、を有する基板収納容器1の成形方法である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報