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1. WO2020085302 - バルブ装置およびガス供給システム

公開番号 WO/2020/085302
公開日 30.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/041310
国際出願日 21.10.2019
IPC
F16K 27/00 2006.01
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
27ハウジングの構造;ハウジングの使用材料
出願人
  • 株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP]/[JP]
発明者
  • 松田 隆博 MATSUDA Takahiro
  • 相川 献治 AIKAWA Kenji
  • 原田 章弘 HARADA Akihiro
  • 渡辺 一誠 WATANABE Kazunari
  • 中田 知宏 NAKATA Tomohiro
  • 篠原 努 SHINOHARA Tsutomu
代理人
  • 特許業務法人KEN知財総合事務所 KEN IP LAW FIRM
優先権情報
2018-20183026.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VALVE DEVICE AND GAS SUPPLY SYSTEM
(FR) DISPOSITIF DE SOUPAPE ET SYSTÈME D'ALIMENTATION EN GAZ
(JA) バルブ装置およびガス供給システム
要約
(EN)
[Problem] To provide a valve device that can be used, for example, in a process for manufacturing a semiconductor structure having a structure that is better suited to downscaling and integration. [Solution] The device comprises: a valve body 3 that is housed in a housing recess 35 having a circular cross-sectional shape, a first port 3p1 and a second port 3p2 being formed in the bottom surface of the valve body 3; and a bonnet nut 20 having an outer thread 20a that threadingly engages an inner thread 35s formed on the inner circumference of the housing recess 35, thereby anchoring the valve body 3 to a flow channel block 30 while compressing the valve body 3 toward the bottom of the housing recess 35. The valve body 3 comprises an outer circumferential surface 3f that mates with an inner circumferential surface 35a of the housing recess 35 in the flow channel block 30. A positioning protrusion 3a for defining the rotational position of the valve body 3, about an axis Ct, with respect to the flow channel block 30 is formed in the outer circumferential surface 3f.
(FR)
Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif de soupape qui peut être utilisé, par exemple, dans un procédé de fabrication d'une structure semi-conductrice ayant une structure qui est mieux adaptée à une diminution d'échelle et à une intégration. La solution selon l'invention porte sur un dispositif qui comprend : un corps de soupape (3) qui est logé dans un évidement de logement (35) ayant une forme de section transversale circulaire, un premier orifice (3p1) et un second orifice (3p2) étant formés dans la surface inférieure du corps de soupape (3) ; et un écrou de chapeau (20) ayant un filetage externe (20a) qui vient en prise par filetage avec un filetage interne (35s) formé sur la circonférence interne de l'évidement de logement (35), ce qui permet d'ancrer le corps de soupape (3) à un bloc de canal d'écoulement (30) tout en comprimant le corps de soupape (3) vers le fond de l'évidement de logement (35). Le corps de soupape (3) comprend une surface circonférentielle externe (3f) qui s'accouple avec une surface circonférentielle interne (35a) de l'évidement de logement (35) dans le bloc de canal d'écoulement (30). Une saillie de positionnement (3a) destinée à définir la position de rotation du corps de soupape (3), autour d'un axe (Ct), par rapport au bloc de canal d'écoulement (30) est formée dans la surface circonférentielle externe (3f).
(JA)
【課題】小型化、集積化により適した構造を有する半導体製造プロセス等に用いられバルブ装置を提供する。 【解決手段】断面形状が円形の収容凹部35に収容され、底面に第1のポート3p1および第2のポート3p2が形成されたバルブボディ3と、外ねじ部20aが収容凹部35の内周に形成された内ねじ部35sに螺合することにより、バルブボディ3を収容凹部35の底部に向けて押圧しつつ当該バルブボディ3を流路ブロック30に固定するボンネットナット20と、を有し、バルブボディ3は、流路ブロック30の収容凹部35の内周面部35aに嵌まる外周面部3fを有し、外周面部3fには、流路ブロック30に対するバルブボディ3の軸線Ct回りの回転位置を規定する位置決め用の凸部3aが形成されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報