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1. WO2020085205 - 検査装置及び検査方法

公開番号 WO/2020/085205
公開日 30.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/040941
国際出願日 17.10.2019
IPC
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
H01L 27/146 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
271つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144輻射線によって制御される装置
146固体撮像装置構造
G01R 31/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP]
発明者
  • 秋山 直樹 AKIYAMA, Naoki
  • 斉藤 進 SAITO, Susumu
  • 中山 博之 NAKAYAMA, Hiroyuki
  • 河西 繁 KASAI, Shigeru
代理人
  • 金本 哲男 KANEMOTO, Tetsuo
  • 萩原 康司 HAGIWARA, Yasushi
  • 扇田 尚紀 OGITA, Naoki
  • 三根 卓也 MINE, Takuya
優先権情報
2018-20103525.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION ET PROCÉDÉ D'INSPECTION
(JA) 検査装置及び検査方法
要約
(EN)
This inspection device is for inspecting devices to be inspected. The devices to be inspected are formed on an object to be inspected, and are backlit image-capture devices upon which light is incident from the rear side, which is the reverse side from the side on which a wiring layer is provided. The inspection device has a loading platform on which is placed the object to be inspected in a state in which the rear surfaces of the image-capture devices face the loading platform. The loading platform comprises: a light-transmissive portion which includes a plate-shaped plate member made from a light-transmissive material, and upon which the object to be inspected is placed; and a light-emitting portion which is disposed in a position facing the object to be inspected with the light-transmissive portion interposed therebetween, and which emits light towards the light-transmissive portion. The light-transmissive portion allows the passage of light emitted from the light-emitting portion while diffusing said light.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'inspection qui est destiné à inspecter un dispositif à inspecter. Les dispositifs à inspecter sont formés sur l'objet à inspecter, et sont des dispositifs de capture d'image à rétro-éclairage sur lesquels de la lumière est incidente depuis le côté arrière, qui est le côté inverse à partir du côté sur lequel une couche de câblage est formée. Ledit dispositif d'inspection comporte une plate-forme de chargement sur laquelle est chargé l'objet à inspecter dans un état faisant face à la surface arrière du dispositif de capture d'image. La plate-forme de chargement comprend : une partie transmettant la lumière qui comprend un élément en forme de plaque constitué d'un matériau transmettant la lumière, et sur lequel est placé l'objet à inspecter; et une partie électroluminescente qui est positionnée au niveau d'une position faisant face à l'objet à inspecter avec la partie transmettant la lumière interposée entre celles-ci, et qui émet de la lumière vers la partie transmettant la lumière. La partie transmettant la lumière permet le passage de la lumière émise par la partie électroluminescente tout en diffusant ladite lumière.
(JA)
検査対象デバイスを検査する検査装置であって、検査対象体に形成された検査対象デバイスは、配線層が設けられた側とは反対側の面である裏面から光が入射される裏面照射型の撮像デバイスであり、当該検査装置は、前記撮像デバイスの裏面と対向する形態で前記検査対象体が載置される載置台を有し、前記載置台は、光透過材料からなる平板状の平板部材を含み、前記検査対象体が載置される透過部と、前記透過部を間に挟み前記検査対象体と対向する位置に配置され、前記透過部に向けて光を出射する光出射部と、を有し、前記透過部は、前記光出射部からの光を拡散させながら透過する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報