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1. WO2020084974 - 金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法

公開番号 WO/2020/084974
公開日 30.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/036977
国際出願日 20.09.2019
IPC
C25D 5/34 2006.01
C化学;冶金
25電気分解または電気泳動方法;そのための装置
D電気分解または電気泳動による被覆方法;電鋳;電気分解による加工品の接合;そのための装置
5方法に特徴のある電気鍍金;加工品の前処理または後処理
34電気鍍金される金属の表面の前処理
C23C 14/14 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
06被覆材料に特徴のあるもの
14金属質材料,ほう素またはけい素
C23C 14/56 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
56連続被覆のために特に適合した装置;真空を維持するための装置,例.真空ロック
H05K 3/18 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
K印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3印刷回路を製造するための装置または方法
10導電性物質が希望する導電模様を形成するように絶縁支持部材に施されるもの
18導電性物質を付着するのに沈でん技術を用いるもの
H05K 3/26 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
K印刷回路;電気装置の箱体または構造的細部,電気部品の組立体の製造
3印刷回路を製造するための装置または方法
22印刷回路の2次的処理
26導電模様の洗浄または研摩
C25D 5/56 2006.01
C化学;冶金
25電気分解または電気泳動方法;そのための装置
D電気分解または電気泳動による被覆方法;電鋳;電気分解による加工品の接合;そのための装置
5方法に特徴のある電気鍍金;加工品の前処理または後処理
54非金属表面の電気鍍金
56プラスチック
出願人
  • 住友金属鉱山株式会社 SUMITOMO METAL MINING CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 大上 秀晴 OKAMI, Hideharu
代理人
  • 上田 章三 UEDA, Shozo
  • 小泉 雅裕 KOIZUMI Masahiro
優先権情報
2018-19907323.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING RESIN FILM PROVIDED WITH METAL MEMBRANE
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN FILM DE RÉSINE POURVU D'UNE MEMBRANE MÉTALLIQUE
(JA) 金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法
要約
(EN)
[Problem] To provide an apparatus and method for manufacturing a resin film provided with a metal membrane, whereby pinholing is not prone to occur in a metal membrane formed on a metal seed layer by a wet plating method. [Solution] An apparatus for manufacturing a resin film provided with a metal membrane, comprising: a long resin film unwinding roll 600 on which long resin films 601 having a metal seed layer formed as a membrane thereon by a vacuum deposition method are wound while a long isolating paper 603 is interposed between the layers thereof; a long isolating paper winding roll 602 for separating the long isolating paper from the long resin film unwound from the unwinding roll 600 and winding the isolating paper; wet plating tanks 642-645 into which is carried the long resin film from which the long isolating paper is separated, the wet plating tanks 642-645 forming a metal membrane on the metal seed layer of the long resin film; and a long resin film winding roll 641 onto which the long resin film with the metal membrane formed thereon is wound; wherein the apparatus is characterized in that an atmospheric-pressure plasma cleaning device for cleaning the metal seed layer surface of the long resin film from which the long isolating paper is separated is provided between the unwinding roll 600 and the wet plating tanks.
(FR)
La présente invention concerne un appareil et un procédé de fabrication d'un film de résine pourvu d'une membrane métallique, grâce auxquels des trous d'épingle ne sont pas susceptible de se former dans une membrane métallique formée sur une couche de germe métallique par un procédé de placage par voie humide. L'invention concerne un appareil de fabrication d'un film de résine pourvu d'une membrane métallique, comprenant : un rouleau de déroulement d'un long film de résine 600 sur lequel sont enroulés des longs films de résine 601 sur lesquels est formée une couche de germe métallique en tant que membrane par un procédé de dépôt sous vide tandis qu'un long papier isolant 603 est interposé entre leurs couches ; un rouleau d'enroulement de long papier isolant 602 pour séparer le long papier isolant du long film de résine déroulé du rouleau de déroulement 600 et enrouler le papier isolant ; des cuves de placage humide 642-645 dans lesquelles est transporté le long film de résine duquel le long papier isolant est séparé, les cuves de placage humide 642-645 formant une membrane métallique sur la couche de germe métallique du long film de résine ; et un rouleau d'enroulement de long film de résine 641 sur lequel est enroulé le long film de résine avec la membrane métallique formée lui ; l'appareil étant caractérisé en ce qu'un dispositif de nettoyage par plasma à pression atmosphérique pour nettoyer la surface de couche de germe métallique du long film de résine duquel le long papier isolant est séparé est disposé entre le rouleau de déroulement 600 et les cuves de placage humide.
(JA)
【課題】湿式メッキ法で金属シード層上に形成される金属膜にピンホールが生じ難い金属膜付き樹脂フィルムの製造装置と製造方法を提供する。【解決手段】真空成膜法で金属シード層を成膜した長尺樹脂フィルム601 が層間に長尺合紙603 を挟み込みながら巻回された長尺樹脂フィルム巻出ロール600 と、該巻出ロール600 から巻き出される長尺樹脂フィルムから長尺合紙を分離して巻き取る長尺合紙巻取ロール602 と、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムを搬入しその金属シード層上に金属膜を形成する湿式メッキ 槽642~645 と、金属膜が形成された長尺樹脂フィルムを巻き取る長尺樹脂フィルム巻取ロール641 を備えた金属膜付き樹脂フィルムの製造装置において、長尺合紙が分離された長尺樹脂フィルムの金属シード層表面を洗浄する大気圧プラズマ洗浄装置が上記巻出ロール600 と湿式メッキ槽との間に設けられていることを特徴とする。
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