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1. WO2020084967 - 被着体処理方法

公開番号 WO/2020/084967
公開日 30.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/036712
国際出願日 19.09.2019
IPC
H01L 21/683 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
CPC
H01L 21/683
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
出願人
  • リンテック株式会社 LINTEC CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 上道 厚史 UEMICHI, Atsushi
代理人
  • 山崎 崇裕 YAMAZAKI, Takahiro
  • 扇原 梢伸 OGIHARA, Shoshin
  • 加久田 典子 KAKUTA, Noriko
優先権情報
2018-20102225.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ADHEREND PROCESSING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE PARTIE ADHÉRÉE
(JA) 被着体処理方法
要約
(EN)
Provided is an adherend processing method that allows unification of an adherend to a frame member and stripping of a sheet material from the adherend without damaging the adherend. The method includes: executing a unifying step in which an adherend WK having a sheet material SM attached to one surface WK1 thereof is unified with a frame member RF by attaching a first adhesive sheet AS1 to the frame member and to the other surface WK2 of the adherend, to form a unified body UP which has the sheet material SM attached thereto; and a stripping step in which the sheet material SM is stripped from the unified body UP which has the sheet material SM attached thereto, to form a unified body UP; and, prior to the unifying step, executing a damage prevention sheet attaching step in which a damage prevention sheet AS2 is attached to the other surface WK2 of the adherend WK. In the damage prevention sheet attaching step, in consideration of the maximum load that will be applied in a subsequent step, the damage prevention sheet AS2 having a rigidity that prevents the adherend WK from being damaged by the maximum load is selected.
(FR)
L'invention concerne un procédé de traitement de partie adhérée qui permet d'unifier une partie adhérée à un élément cadre et d'extraire un matériau en feuille de la partie adhérée sans endommager la partie adhérée. Le procédé consiste : à exécuter une étape d'unification consistant à unifier une partie adhérée (WK) qui présente une surface (WK1) à laquelle est fixé un matériau en feuille (SM) avec un élément cadre (RF) en fixant une première feuille adhésive (AS1) à l'élément cadre et à l'autre surface (WK2) de la partie adhérée, de manière à former un corps unifié (UP) auquel est fixé le matériau en feuille (SM); et une étape d'extraction consistant à extraire le matériau en feuille (SM) du corps unifié (UP) auquel est fixé le matériau en feuille (SM), de manière à former un corps unifié (UP); et, avant l'étape d'unification, à exécuter une étape de fixation de feuille de protection contre les dommages consistant à fixer une feuille de protection contre les dommages (AS2) à l'autre surface (WK2) de la partie adhérée (WK). Dans l'étape de fixation de feuille de protection contre les dommages, compte tenu de la charge maximale qui sera appliquée lors d'une étape ultérieure, la feuille de protection contre les dommages (AS2) sélectionnée présente une rigidité qui empêche la partie adhérée (WK) d'être endommagée par la charge maximale.
(JA)
被着体が破損することなく、当該被着体のフレーム部材への一体化と、当該被着体からのシート材の剥離とを実施することができる被着体処理方法は、一方の面WK1にシート材SMが貼付された被着体WKの他方の面WK2側およびフレーム部材RFに第1接着シートAS1を貼付し、それらを一体化してシート材SM付き一体物UPを形成する一体化工程と、シート材SM付き一体物UPから当該シート材SMを剥離して一体物UPを形成する剥離工程とを実施し、一体化工程の前段で、被着体WKの他方の面WK2に破損防止シートAS2を貼付する破損防止シート貼付工程を実施し、当該破損防止シート貼付工程では、以降の工程で付与される最大の負荷を考慮し、当該最大の負荷によって被着体WKが破損しない剛性を備えた破損防止シートAS2が選定される。
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