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1. WO2020084729 - 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のオートフォーカス処理方法、及び検出器

公開番号 WO/2020/084729
公開日 30.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/039624
国際出願日 25.10.2018
IPC
H01J 37/20 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
20物体または材料を支持しまたは位置づける手段;支持体に関連した隔膜壁またはレンズを調節する手段
H01J 37/18 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
18真空封止
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
H01J 37/244 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
244検出器;関連の構成要素またはそのための回路
H01J 37/28 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
26電子またはイオン顕微鏡;電子またはイオン回折管
28走査ビームを有するもの
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 中村 光宏 NAKAMURA Mitsuhiro
  • 波田野 道夫 HATANO Michio
代理人
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AUTOFOCUS PROCESSING METHOD FOR CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, AND DETECTOR
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE MISE AU POINT AUTOMATIQUE POUR DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, ET DÉTECTEUR
(JA) 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置のオートフォーカス処理方法、及び検出器
要約
(EN)
Provided are a charged particle beam device and a detector which enable non-invasive observation of a biochemical sample, without staining or immobilization, with a simple and high observation throughput. The charged particle beam device comprises: an electron optical system; a stage (64); a sample chamber (100) having a first insulating layer (110) that holds a sample (200) and is in contact with the sample (200), and a conductive layer (120) formed on the first insulating layer (110); signal detection circuits (20), (50) that are connected to the conductive layer (120) and detect a current flowing in the conductive layer (120); and a main control unit (14) that controls the electron optical system and the stage (64). The main control unit (14) irradiates the conductive layer (120) of the sample chamber (100) placed on the stage (64) with an electron beam (12) from the electron optical system, and detection signals from the signal detection circuits (20), (50) are input.
(FR)
L'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées et un détecteur qui permettent l'observation non invasive d'un échantillon biochimique, sans coloration ni immobilisation, avec une capacité d'observation simple et élevée. Le dispositif à faisceau de particules chargées comprend : un système optique d'électrons; un étage (64); une chambre d'échantillon (100) comprenant une première couche isolante (110) qui maintient un échantillon (200) et est en contact avec l'échantillon (200), et une couche conductrice (120) formée sur la première couche isolante (110); des circuits de détection de signal (20), (50) qui sont connectés à la couche conductrice (120) et détectent un courant circulant dans la couche conductrice (120); et une unité de commande principale (14) qui commande le système optique d'électrons et l'étage (64). L'unité de commande principale (14) expose la couche conductrice (120) de la chambre d'échantillon (100) placée sur l'étage (64) à un faisceau d'électrons (12) provenant du système optique d'électrons, et des signaux de détection provenant des circuits de détection de signal (20), (50) sont appliqués.
(JA)
簡便かつ高い観察スループットで、染色処理や固定化処理なしに生物化学試料を非侵襲で観察することを可能とする荷電粒子線装置及び検出器を提供する。電子光学系と、ステージ(64)と、試料(200)を保持し、試料(200)に接する第1の絶縁層(110)と、第1の絶縁層(110)上に形成される導電層(120)とを有する試料チャンバ(100)と、導電層(120)に接続され、導電層(120)に流れる電流を検出する信号検出回路(20),(50)と、電子光学系とステージ(64)とを制御する主制御部(14)とを有し、主制御部(14)は、電子光学系からステージ(64)に載置された試料チャンバ(100)の導電層(120)に電子線(12)を照射し、信号検出回路(20),(50)からの検出信号が入力される。
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