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1. WO2020080290 - 表面分析装置

公開番号 WO/2020/080290
公開日 23.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/040220
国際出願日 11.10.2019
IPC
G01Q 30/00 2010.01
G物理学
01測定;試験
Q走査プローブ技術または装置;走査プローブ技術の応用,例.走査プローブ型顕微鏡[2010.01]
30走査プローブ技術または装置の補助または改良に資する補助的手段,例.表示装置またはデータ処理装置
出願人
  • 株式会社島津製作所 SHIMADZU CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 小林 寛治 KOBAYASHI, Kanji
  • 平出 雅人 HIRADE, Masato
代理人
  • 特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.
優先権情報
2018-19515416.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SURFACE ANALYSIS DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE DE SURFACE
(JA) 表面分析装置
要約
(EN)
A surface analysis device (1) is provided with a sample stage (30) on which a sample is mounted, a cantilever disposed so as to face the sample stage (30), and a cantilever drive part for driving the cantilever. A drive mechanism is configured so that, during extraction of the sample stage (30), the drive mechanism shifts the sample stage (30) relative to a measurement part (20) so that the measurement part (20) and the sample stage (30) separate from each other in a first direction in which the cantilever and the sample stage (30) face each other, and then causes the sample stage (30) to slide and move in a direction intersecting with the first direction.
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'analyse de surface (1) pourvu d'une platine d'échantillon (30) sur laquelle un échantillon est monté, d'une micropoutre disposée de façon à faire face à la platine d'échantillon (30), et d'une partie d'entraînement pour entraîner la micropoutre. Un mécanisme d'entraînement est configuré de telle sorte que, pendant le retrait de la platine d'échantillon (30), le mécanisme d'entraînement décale la platine d'échantillon (30) par rapport à une partie de mesure (20) de telle sorte que la partie de mesure (20) et la platine d'échantillon (30) se séparent l'une de l'autre dans une première direction où la micropoutre et la platine d'échantillon (30) se font face, et amène ensuite la platine d'échantillon (30) à coulisser et à se déplacer dans une direction croisant la première direction.
(JA)
表面分析装置(1)は、試料を載置する試料台(30)と、試料台(30)に対向するように配置されるカンチレバーおよびカンチレバーを駆動させるカンチレバー駆動部とを備える。駆動機構は、試料台(30)を取り出す際に、カンチレバーと試料台(30)とが対向する第1方向において測定部(20)と試料台(30)とが離れるように試料台(30)を測定部(20)に対して相対的に変位させた後に、第1方向に交差する方向に試料台(30)をスライド移動させるように構成されている。
他の公開
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