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1. WO2020080058 - 窒化処理装置および窒化処理方法

公開番号 WO/2020/080058
公開日 23.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/037864
国際出願日 26.09.2019
IPC
C23C 8/36 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
8金属質材料表面への非金属元素のみの固相拡散;表面と反応性ガスとの反応による金属質材料の化学的表面処理,であって表面材料の反応生成物を被覆層中に残すもの,例.化成被覆,金属の不働態化
06ガスを用いるもの
36イオン化されたガスを用いるもの,例.イオン窒化
出願人
  • 株式会社神戸製鋼所 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.) [JP]/[JP]
発明者
  • 阿部 麻衣子 ABE, Maiko
  • 赤理 孝一郎 AKARI, Koichiro
代理人
  • 小谷 悦司 KOTANI, Etsuji
  • 小谷 昌崇 KOTANI, Masataka
  • 行武 孝 YUKUTAKE, Takashi
優先権情報
2018-19419515.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) NITRIDING APPARATUS AND NITRIDING METHOD
(FR) APPAREIL DE NITRURATION ET PROCÉDÉ DE NITRURATION
(JA) 窒化処理装置および窒化処理方法
要約
(EN)
The present invention provides a nitriding apparatus and a nitriding method, which are capable of suppressing the generation of a compound layer by measuring the temperature of an object to be nitrided with high accuracy. A nitriding apparatus (1) according to the present invention is provided with a chamber (10), a gas supply unit (50), a supporting body (20), a plasma generation source (30), a heater (70), a thermocouple strand (61) that comprises a temperature measurement part (61S), a housing member (60), a power supply (41) for objects to be nitrided, and a treatment condition control unit (80). The housing member internally contains the thermocouple strand so as to cover the temperature measurement part, while being insulated from the thermocouple strand. The power supply for objects to be nitrided applies a predetermined voltage to an object (W) to be nitrided and the housing member so that the object to be nitrided and the housing member are set to the same negative potential.
(FR)
La présente invention concerne un appareil de nitruration et un procédé de nitruration, qui sont aptes à supprimer la génération d'une couche de composé en mesurant la température d'un objet à nitrurer avec une précision élevée. Selon la présente invention, l'appareil de nitruration (1) est pourvu d'une chambre (10), d'une unité d'alimentation en gaz (50), d'un corps de support (20), d'une source de génération de plasma (30), d'un dispositif de chauffage (70), d'un fil de thermocouple (61) qui comprend une partie de mesure de température (61S), d'un élément de boîtier (60), d'une alimentation électrique (41) destinée à des objets à nitrurer et d'une unité de réglage de conditions de traitement (80). L'élément de boîtier contient en son sein le fil de thermocouple de manière à recouvrir la partie de mesure de température, tout en étant isolé du fil de thermocouple. L'alimentation électrique destinée à des objets à nitrurer applique une tension prédéterminée à un objet (W) à nitrurer et à l'élément de boîtier, de telle sorte que l'objet à nitrurer et l'élément de boîtier sont réglés sur le même potentiel négatif.
(JA)
窒化処理される被処理体の温度を精度良く測定し化合物層の生成を抑止することが可能な窒化処理装置および窒化処理方法を提供する。窒化処理装置(1)は、チャンバ(10)と、ガス供給部(50)と、支持体(20)と、プラズマ発生源(30)と、ヒータ(70)と、測温部(61S)を含む熱電対素線(61)と、収容部材(60)と、被処理体用電源(41)と、処理条件制御部(80)と、を備える。収容部材は、熱電対素線に対して絶縁された状態で前記測温部を覆うように熱電対素線を内部に収容する。被処理体用電源は、被処理体(W)および収容部材がマイナス側の同電位に設定されるように、被処理体および収容部材に所定の電圧を印加する。
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