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1. WO2020079977 - 表面処理液及びニッケル含有材料の表面処理方法

公開番号 WO/2020/079977
公開日 23.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/034713
国際出願日 04.09.2019
IPC
C23C 22/50 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
22表面と反応性液体との反応による金属質材料の化学的表面処理であって,表面材料の反応生成物を被覆層中に残すもの,例.化成被覆(conversioncoatings)金属の不動態化
05水溶液を使用するもの
06pH<6の酸性水溶液を用いるもの
48りん酸塩,6価クロム化合物,ふっ化物もしくは錯ふっ化物,モリブデン酸塩,タングステン酸塩,バナジン酸塩またはしゅう酸塩を含まないもの
50鉄または鉄を基とする合金の処理
出願人
  • 株式会社ADEKA ADEKA CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 齊藤 康太 SAITOH Kouta
  • 池田 貴重 IKEDA Takashige
代理人
  • 近藤 利英子 KONDO Rieko
  • 菅野 重慶 SUGANO Shigeyoshi
  • 岡田 薫 OKADA Kaoru
  • 竹山 圭太 TAKEYAMA Keita
優先権情報
2018-19556617.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SURFACE TREATMENT SOLUTION, AND METHOD FOR TREATING SURFACE OF NICKEL-CONTAINING MATERIAL
(FR) SOLUTION DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAU CONTENANT DU NICKEL
(JA) 表面処理液及びニッケル含有材料の表面処理方法
要約
(EN)
Provided are: a surface treatment solution for a nickel-containing material, whereby it becomes possible to prevent the formation of smuts during the etching of a nickel-containing material and it also becomes possible to improve the close adhesiveness between a resist pattern and a nickel-containing material; and a method for treating a surface of a nickel-containing material using the surface treatment solution. A surface treatment solution for treating a surface of a nickel-containing material; and a method for treating a surface of a nickel-containing material, the method comprising the step of bringing the surface of the nickel-containing material into contact with the surface treatment solution. The surface treatment solution is an aqueous solution comprising: (A) 0.05 to 5% by mass of ferric ions; (B) 0.5 to 20% by mass of an inorganic acid; (C) 1 to 20% by mass of at least one compound selected from the group consisting of triammonium citrate, ammonium lactate, ammonium formate, diammonium hydrogen citrate, ammonium glycolate and ammonium malate; and water.
(FR)
Cette invention concerne : une solution de traitement de surface pour un matériau contenant du nickel, permettant d'empêcher la formation de taches pendant la gravure d'un matériau contenant du nickel et permettant d'améliorer l'adhésivité étroite entre un motif de couche de réserve et un matériau contenant du nickel ; et un procédé de traitement d'une surface d'un matériau contenant du nickel à l'aide de la solution de traitement de surface. Plus particulièrement, cette invention concerne une solution de traitement de surface pour traiter une surface d'un matériau contenant du nickel et un procédé de traitement d'une surface d'un matériau contenant du nickel, le procédé comprenant l'étape consistant à amener la surface du matériau contenant du nickel en contact avec la solution de traitement de surface. La solution de traitement de surface est une solution aqueuse comprenant : (A) 0,05 à 5 % en masse d'ions ferriques ; (B) 0,5 à 20 % en masse d'un acide inorganique ; (C) 1 à 20 % en masse d'au moins un composé choisi dans le groupe constitué par le citrate de tri-ammonium, le lactate d'ammonium, le formiate d'ammonium, le citrate d'hydrogène de di-ammonium, le glycolate d'ammonium et le malate d'ammonium ; et de l'eau.
(JA)
ニッケル含有材料をエッチングする際のスマットの形成が抑制され、レジストパターンとニッケル含有材料との密着性を向上させることが可能なニッケル含有材料用の表面処理液、及びこれを用いるニッケル含有材料の表面処理方法を提供する。ニッケル含有材料の表面を処理するための表面処理液、及びこの表面処理液をニッケル含有材料の表面に接触させる工程を有するニッケル含有材料の表面処理方法である。表面処理液は、(A)第二鉄イオン0.05~5質量%;(B)無機酸0.5~20質量%;(C)クエン酸三アンモニウム、乳酸アンモニウム、ギ酸アンモニウム、クエン酸水素二アンモニウム、グリコール酸アンモニウム、及びリンゴ酸アンモニウムからなる群より選択される少なくとも1種の化合物1~20質量%;及び水を含有する水溶液である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報