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1. WO2020079929 - 電子銃、電子線適用装置、電子銃による電子射出方法、および、電子ビームの焦点位置調整方法

公開番号 WO/2020/079929
公開日 23.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/031052
国際出願日 07.08.2019
IPC
H01J 37/073 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06電子源;電子銃
073電界放出,光電子放出,または2次電子放出による電子源を用いる電子銃
H01J 37/06 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06電子源;電子銃
出願人
  • 株式会社Photo electron Soul PHOTO ELECTRON SOUL INC. [JP]/[JP]
発明者
  • 飯島 北斗 IIJIMA Hokuto
代理人
  • 松本 征二 MATSUMOTO Seiji
優先権情報
2018-19484816.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELECTRON GUN, ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE, METHOD FOR EMITTING ELECTRON USING ELECTRON GUN, AND ELECTRON BEAM FOCAL POSITION ADJUSTMENT METHOD
(FR) CANON À ÉLECTRONS, DISPOSITIF D'APPLICATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, PROCÉDÉ D'ÉMISSION D'ÉLECTRONS À L'AIDE D'UN CANON À ÉLECTRONS ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE POSITION FOCALE DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 電子銃、電子線適用装置、電子銃による電子射出方法、および、電子ビームの焦点位置調整方法
要約
(EN)
The present invention addresses the problem of providing a device which allows a focal point of an electron beam to be adjusted to a long-focal-point side and to a short-focal-point side after an electron gun is mounted on a counterpart device. The problem can be solved by an electron gun which includes a photocathode and an anode, said electron gun further including an intermediate electrode disposed between the photocathode and the anode, wherein the intermediate electrode has an electron beam passing hole through which an electron beam emitted from the photocathode passes, and a drift space is formed in the electron beam passing hole such that when an electric field is formed between the photocathode and the anode by a voltage applied therebetween, influence of the electric field can be ignored.
(FR)
La présente invention aborde le problème de la fourniture d'un dispositif qui permet à un point focal d'un faisceau d'électrons d'être réglé sur un côté de point focal long et sur un côté de point focal court après qu'un canon à électrons est monté sur un dispositif équivalent. Le problème peut être résolu par un canon à électrons qui comprend une photocathode et une anode, ledit canon à électrons comprenant en outre une électrode intermédiaire disposée entre la photocathode et l'anode, l'électrode intermédiaire ayant un trou de passage de faisceau d'électrons à travers lequel passe un faisceau d'électrons émis par la photocathode et un espace de dérive est formé dans le trou de passage de faisceau d'électrons de telle sorte que, lorsqu'un champ électrique est formé entre la photocathode et l'anode par une tension appliquée entre celles-ci, l'influence du champ électrique peut être ignorée.
(JA)
電子銃を相手側装置に搭載した後に、電子ビームの焦点を短焦点側および長焦点側に調整できる装置を提供することを課題とする。フォトカソードと、アノードと、を含む電子銃であって、前記電子銃は、前記フォトカソードと前記アノードとの間に配置する中間電極を更に含み、前記中間電極は、前記フォトカソードから射出した電子ビームが通過する電子ビーム通過孔を有し、前記電子ビーム通過孔には、電圧の印加により前記フォトカソードと前記アノードとの間に電界が形成された際に、前記電界の影響を無視できるドリフトスペースが形成されている電子銃、により課題を解決できる。
他の公開
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