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1. WO2020075326 - 解析装置、解析方法および解析プログラム

公開番号 WO/2020/075326
公開日 16.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/013037
国際出願日 26.03.2019
IPC
G01R 31/28 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
G01R 1/067 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
1グループG01R5/00~G01R13/00またはG01R31/00に包含される型の機器または装置の細部
02一般的な構造の細部
06測定用導線;測定用探針
067測定用探針
G01R 31/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
02電気的装置,電線または構成要素の短絡,断線,漏電もしくは誤接続の試験
G01R 31/26 2014.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26個々の半導体装置の試験
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
CPC
G01R 1/067
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
G01R 31/26
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
26Testing of individual semiconductor devices
G01R 31/28
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
出願人
  • 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 酒井 裕二 SAKAI Yuji
  • 杉村 一 SUGIMURA Hajime
代理人
  • 龍華国際特許業務法人 RYUKA IP LAW FIRM
優先権情報
2018-19330412.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ANALYSIS DEVICE, ANALYSIS METHOD, AND ANALYSIS PROGRAM
(FR) DISPOSITIF D'ANALYSE, PROCÉDÉ D'ANALYSE ET PROGRAMME D'ANALYSE
(JA) 解析装置、解析方法および解析プログラム
要約
(EN)
To analyze a plurality of measured values that have been obtained by taking measurements of a device under measurement and to make effective use of analyzed information, the present invention provides an analysis device that comprises: an acquisition part that acquires a plurality of measured values that have been obtained by taking measurements of a device under measurement via a jig; an analysis part that analyzes the plurality of measured values and calculates variation data that indicates the variation in the measured values in accordance with the number of times that the jig has contacted the device under measurement; and a management part that manages the state of the jig on the basis of the variation data.
(FR)
Selon l'invention, afin d'analyser une pluralité de valeurs mesurées obtenues en prenant des mesures d'un dispositif mesuré et afin d'effectuer une utilisation efficace d'informations analysées, la présente invention concerne un dispositif d'analyse comprenant : une partie d'acquisition qui acquiert une pluralité de valeurs mesurées obtenues en prenant des mesures d'un dispositif mesuré par l'intermédiaire d'un gabarit ; une partie d'analyse qui analyse la pluralité de valeurs mesurées et calcule des données de variation indiquant la variation des valeurs mesurées en fonction du nombre de fois où le gabarit a été en contact avec le dispositif mesuré ; et une partie de gestion qui gère l'état du gabarit en fonction des données de variation.
(JA)
被測定デバイスを測定した複数の測定値を解析して、解析した情報を有効に利用するために、治具を介して被測定デバイスを測定した複数の測定値を取得する取得部と、複数の測定値を解析して、治具が被測定デバイスに接触した接触回数に応じた測定値の変動を示す変動データを算出する解析部と、変動データに基づいて、治具の状態を管理する管理部と、を備える解析装置を提供する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報