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1. WO2020075241 - 荷電粒子線システム

公開番号 WO/2020/075241
公開日 16.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/037738
国際出願日 10.10.2018
IPC
H01J 37/21 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
21焦点を調整するための手段
H01J 37/22 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
22管と関連した光学または写真装置
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 玉置 央和 TAMAKI, Hirokazu
代理人
  • 特許業務法人藤央特許事務所 TOU-OU PATENT FIRM
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
(FR) SYSTÈME À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線システム
要約
(EN)
A control system for this charged particle beam system obtains a first factor by performing a multiresolution analysis using a wavelet transformation or a discrete wavelet transformation on at least a part of an image or a signal obtained by a charged particle beam device. The control system obtains a second factor by performing any of maximum value calculation, numerical calculation corresponding to a designated order among the orders of magnitude, fitting to a histogram, average value calculation, and summation calculation on at least a part of the first factor or the absolute value of the first factor.
(FR)
L'invention concerne un système de commande pour un système à faisceau de particules chargées qui obtient un premier facteur par réalisation d'une analyse multirésolution à l'aide d'une transformation en ondelettes ou d'une transformation en ondelettes discrètes sur au moins une partie d'une image ou d'un signal obtenu par un dispositif à faisceau de particules chargées. Le système de commande obtient un second facteur en effectuant l'un quelconque parmi un calcul de valeur maximale, un calcul numérique correspondant à un ordre désigné parmi les ordres de grandeur, un ajustement à un histogramme, un calcul de valeur moyenne et un calcul de sommation sur au moins une partie du premier facteur ou de la valeur absolue du premier facteur.
(JA)
荷電粒子線システムの制御システムは、荷電粒子線装置によって取得された像または信号の少なくとも一部に対して、ウェーブレット変換または離散ウェーブレット変換による多重解像度解析を行うことによって第1の係数を求める。制御システムは、第1の係数または第1の係数の絶対値の少なくとも一部に対して、最大値の計算、大きさに関する順序の中で指定された順位に対応する数値の計算、ヒストグラムに対するフィッティング、平均値の計算、または総和の計算のうちのいずれかを行うことで第2の係数を求める。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報