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1. WO2020071388 - 耐熱離型シート及び熱圧着方法

公開番号 WO/2020/071388
公開日 09.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/038804
国際出願日 01.10.2019
IPC
B29C 33/68 2006.01
B処理操作;運輸
29プラスチックの加工;可塑状態の物質の加工一般
Cプラスチックの成形または接合;他に分類されない可塑状態の材料の成形;成形品の後処理,例.補修
33型またはコア;その細部または付属装置
56被覆剤;離型剤,潤滑剤または分離剤
68離型シート
C08J 5/18 2006.01
C化学;冶金
08有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物
J仕上げ;一般的混合方法;サブクラスC08B,C08C,C08F,C08GまたはC08Hに包含されない後処理(プラスチックの加工,例.成形B29)
5高分子物質を含む成形品の製造
18フイルムまたはシートの製造
H01L 21/60 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50サブグループH01L21/06~H01L21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
H01L 21/603 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50サブグループH01L21/06~H01L21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
603圧力の適用を含むもの,例.熱圧着結合
CPC
B29C 33/68
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
33Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
56Coatings ; , e.g. enameled or galvanised; Releasing, lubricating or separating agents
68Release sheets
B29C 43/32
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
43Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
32Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
C08J 5/18
CCHEMISTRY; METALLURGY
08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G
5Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
18Manufacture of films or sheets
出願人
  • 日東電工株式会社 NITTO DENKO CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 秋葉 府統 AKIBA Kurato
  • 吉松 王彦 YOSHIMATSU Kimihiko
代理人
  • 鎌田 耕一 KAMADA Koichi
優先権情報
2018-18907104.10.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HEAT-RESISTANT RELEASE SHEET AND THERMOCOMPRESSION BONDING METHOD
(FR) FEUILLE DE DÉCOLLEMENT RÉSISTANTE À LA CHALEUR ET PROCÉDÉ DE LIAISON PAR THERMOCOMPRESSION
(JA) 耐熱離型シート及び熱圧着方法
要約
(EN)
During thermocompression bonding of a compression bonding target by a heating/pressing head, this heat resistant release sheet is arranged between the compression bonding target and the heating/pressing head and prevents adhesion between the compression target and the heating/pressing head. The surface hardness at 300°C is less than or equal to 15%, represented by the degree of indentation A300 given by the formula A300(%) = (d300/t0)×100. However, t0 is the thickness of the heat-resistant release sheet at room temperature (20°C). d300 is the indentation amount of a needle penetration probe at 300°C in the heat-resistant release sheet, evaluated by thermomechanical analysis (TMA) based on the following measurement conditions. [Measurement conditions] Measurement mode: needle penetration mode, temperature rise measurement; Form and tip diameter of needle penetration probe: cylindrical and 1 mmφ; Applied pressure: 1 MPa; Temperature rise start temperature and rate of temperature rise: 20°C, 10°C/min. With this heat resistant release sheet, it is possible to reliably handle predicted further rises in the thermocompression temperature.
(FR)
La présente invention concerne, pendant la liaison par thermocompression d’une cible de liaison par compression par une tête de chauffage/compression, une feuille de décollement résistante à la chaleur qui est disposée entre la cible de liaison par compression et la tête de chauffage/compression et qui empêche l’adhérence entre la cible de compression et la tête de chauffage/compression. La dureté de surface à 300 °C est inférieure ou égale à 15 %, représentée par le degré d’indentation A300 donné par la formule A300(%) = (d300/t0) x 100. Cependant, t0 est l’épaisseur de la feuille de décollement résistante à la chaleur à la température ambiante (20 °C). d300 est la quantité d’indentation d’une sonde de pénétration d’aiguille à 300 °C dans la feuille de décollement résistante à la chaleur, évaluée par analyse thermomécanique (TMA) sur la base des conditions de mesure suivantes. [Conditions de mesure] mode de mesure : mode de pénétration de l’aiguille, mesure de l'échauffement ; forme et diamètre de la pointe de la sonde de pénétration d’aiguille : cylindrique et 1 mmφ ; pression appliquée : 1 MPa ; température de début d'échauffement et vitesse d'échauffement : 20 °C, 10 °C/min. Ainsi, grâce à cette feuille de décollement résistante à la chaleur, il est possible de prédire de manière fiable les échauffements ultérieurs de la thermocompression.<b></b> <b></b>
(JA)
本開示の耐熱離型シートは、熱加圧ヘッドによる圧着対象物の熱圧着時に圧着対象物と熱加圧ヘッドとの間に配置されて、圧着対象物と熱加圧ヘッドとの固着を防ぐためのシートであり、300℃における表面硬さが、式:A300(%)=(d300/t0)×100により与えられる押込み度A300により表示して、15%以下である。ただし、t0は、常温(20℃)における耐熱離型シートの厚さである。d300は、以下の測定条件に基づく熱機械分析(TMA)により評価した、耐熱離型シートに対する300℃での針入プローブの押込み量である。[測定条件]・測定モード:針入モード、昇温測定、 ・針入プローブの形状及び先端径:円柱状及び1mmφ、 ・印加圧力:1MPa ・昇温開始温度及び昇温速度:20℃及び10℃/分。本開示の耐熱離型シートによれば、予想される熱圧着温度のさらなる上昇に対してより確実に対応できる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報