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1. WO2020065968 - 基板収納容器

公開番号 WO/2020/065968
公開日 02.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/036457
国際出願日 28.09.2018
IPC
H01L 21/673 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
673特に適合するキャリアを使用するもの
B65D 85/30 2006.01
B処理操作;運輸
65運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
D物品または材料の貯蔵または輸送用の容器,例.袋,樽,びん,箱,缶,カートン,クレート,ドラム缶,広口びん,タンク,ホッパー,運送コンテナ;付属品,閉鎖具,または閉鎖具のための付属品;包装要素;包装体
85特定の物品または材料に特に適合する容器,包装要素または包装体
30衝撃または圧力による損傷に特に鋭敏な物品用
CPC
B65D 85/30
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
85Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
30for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
H01L 21/673
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
673using specially adapted carriers ; or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
出願人
  • ミライアル株式会社 MIRAIAL CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 成田 侑矢 NARITA Yuya
代理人
  • 正林 真之 SHOBAYASHI Masayuki
  • 林 一好 HAYASHI Kazuyoshi
  • 岩池 満 IWAIKE Mitsuru
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SUBSTRATE ACCOMMODATION CONTAINER
(FR) CONTENANT DE RÉCEPTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器
要約
(EN)
This substrate accommodation container comprises: a container body; a lid that can be attached/detached to/from an opening of the container body, and that can seal off the opening of the container body; and a sealing member that, together with the lid, seals off the opening of the container body. If the supply quantity of a gas supplied to a substrate accommodation space from a space outside of the container body through a supply filter is less than or equal to 22 L per minute, then the airtightness of the substrate accommodation space is increased so that 50% or more of the gas supplied to the substrate accommodation space can be discharged through a discharge filter.
(FR)
L'invention concerne un contenant de réception de substrat comprenant : un corps de contenant; un couvercle pouvant être fixé à une ouverture du corps de contenant/en être retiré, et pouvant fermer hermétiquement l'ouverture du corps de contenant; et un élément d'étanchéité qui, conjointement avec le couvercle, ferme hermétiquement l'ouverture du corps de récipient. Si la quantité d'alimentation d'un gaz amené dans un espace de réception de substrat depuis un espace situé à l'extérieur du corps de contenant en passant par un filtre d'alimentation est inférieure ou égale à 22 l par minute, alors l'étanchéité à l'air de l'espace de réception de substrat est augmentée de façon à pouvoir évacuer, par l'intermédiaire d'un filtre de décharge, au moins 50 % du gaz amené dans l'espace de réception de substrat.
(JA)
基板収納容器は、容器本体と、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、蓋体と共に容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備え、給気用フィルタ部を通して容器本体の外部の空間から基板収納空間へ供給される気体の供給量が毎分22L以下の場合に、基板収納空間へ供給された気体の50%以上の気体を排気用フィルタ部から排気可能に、基板収納空間の気密性が高められた基板収納容器である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報