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1. WO2020065941 - 弾性波変調素子及び物理量センサ

公開番号 WO/2020/065941
公開日 02.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/036364
国際出願日 28.09.2018
IPC
G01L 1/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
L力,応力,トルク,仕事,機械的動力,機械的効率,または流体圧力の測定
1力または応力の測定一般
G01K 7/32 2006.01
G物理学
01測定;試験
K温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
7熱に直接感応する電気的または磁気的素子の使用を基礎とした温度測定
32結晶の共振周波数の変化を利用するもの
G01R 33/02 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33磁気的変量を測定する計器または装置
02磁界または磁束の方向または大きさの測定
H03B 5/30 2006.01
H電気
03基本電子回路
B振動の発生,直接のまたは周波数変換による振動の発生,スイッチング動作を行なわない能動素子を用いた回路による振動の発生;このような回路による雑音の発生
5出力から入力への再生帰還による増幅器を用いた振動の発生
30周波数決定素子が電気機械的振動子であるもの
H03H 9/145 2006.01
H電気
03基本電子回路
Hインビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
02細部
125駆動手段,例.電極,コイル
145弾性表面波を用いる回路網のためのもの
CPC
G01K 7/32
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
7Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat
32using change of resonant frequency of a crystal
G01L 1/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1Measuring force or stress, in general
G01R 33/02
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
33Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
02Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
H03B 5/30
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
BGENERATION OF OSCILLATIONS, DIRECTLY OR BY FREQUENCY-CHANGING, BY CIRCUITS EMPLOYING ACTIVE ELEMENTS WHICH OPERATE IN A NON-SWITCHING MANNER; GENERATION OF NOISE BY SUCH CIRCUITS
5Generation of oscillations using amplifier with regenerative feedback from output to input
30with frequency-determining element being electromechanical resonator
H03H 9/145
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
9Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
02Details
125Driving means, e.g. electrodes, coils
145for networks using surface acoustic waves
出願人
  • TDK株式会社 TDK CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 鈴木 英治 SUZUKI Eiji
代理人
  • 棚井 澄雄 TANAI Sumio
  • 荒 則彦 ARA Norihiko
  • 飯田 雅人 IIDA Masato
  • 荻野 彰広 OGINO Akihiro
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ACOUSTIC WAVE MODULATION ELEMENT AND PHYSICAL QUANTITY SENSOR
(FR) ÉLÉMENT DE MODULATION D'ONDE ACOUSTIQUE ET CAPTEUR DE QUANTITÉ PHYSIQUE
(JA) 弾性波変調素子及び物理量センサ
要約
(EN)
Provided are an acoustic wave modulation element and physical quantity sensor that make it possible to enhance sensitivity compared to the prior art and accurately detect a physical quantity of an object to be detected. This acoustic wave modulation element (10) comprises a piezoelectric substrate (11), a first electrode unit (12) that is attached to the piezoelectric substrate (11) and causes the piezoelectric substrate (11) to generate an acoustic wave, a second electrode unit (13) that is attached to the piezoelectric substrate (11) and receives the acoustic wave, and a magnetostrictive material part (15) that is provided in or near the area of the acoustic wave. The magnetostrictive material part (15) comprises a pair of magnetic flux propagation parts (15a, 15b) that are provided on one main surface (11a) of the piezoelectric substrate (11) and are capable of propagating the magnetic flux of an external magnetic field and a magnetic-flux-concentration part (15c) that is provided on the one main surface (11a) between the pair of magnetic flux propagation parts (15a, 15b) and is disposed on or near the propagation route (14) of the acoustic wave.
(FR)
L'invention concerne un élément de modulation d'onde acoustique et un capteur de quantité physique qui permettent d'améliorer la sensibilité comparativement à l'état antérieur de la technique et de détecter avec précision une quantité physique d'un objet à détecter. L'élément de modulation d'onde acoustique (10) comprend un substrat piézoélectrique (11), une première unité d'électrode (12) qui est fixée au substrat piézoélectrique (11) et amène le substrat piézoélectrique (11) à générer une onde acoustique, une seconde unité d'électrode (13) qui est fixée au substrat piézoélectrique (11) et reçoit l'onde acoustique, et une partie en matériau magnétostrictif (15) qui est disposée dans ou à proximité de la zone de l'onde acoustique. La partie en matériau magnétostrictif (15) comprend une paire de parties de propagation de flux magnétique (15a, 15b) qui sont disposées sur une surface principale (11a) du substrat piézoélectrique (11) et sont aptes à propager le flux magnétique d'un champ magnétique externe et une partie de concentration de flux magnétique (15c) qui est disposée sur ladite une surface principale (11a) entre la paire de parties de propagation de flux magnétique (15a, 15b) et est disposée sur ou à proximité de la trajectoire de propagation (14) de l'onde acoustique.
(JA)
従来よりも感度を向上して被検出体の物理量を精度良く検知することができる弾性波変調素子及び物理量センサを提供する。 弾性波変調素子(10)は、圧電基板(11)と、圧電基板(11)に取り付けられ、圧電基板(11)に弾性波を励起する第1電極部(12)と、圧電基板(11)に取り付けられ、弾性波を受信する第2電極部(13)と、弾性波の存在領域またはその近傍に設けられた磁歪材料部(15)とを備える。磁歪材料部(15)は、圧電基板(11)の一方の主面(11a)上に設けられ、外部磁界の磁束を伝搬可能な一対の磁束伝搬部(15a,15b)と、一方の主面(11a)上において一対の磁束伝搬部(15a,15b)の間に設けられ、弾性波の伝搬路(14)上またはその近傍に配置された集磁部(15c)とを有する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報