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1. WO2020065703 - 熱電界放出電子源および電子ビーム応用装置

公開番号 WO/2020/065703
公開日 02.04.2020
国際出願番号 PCT/JP2018/035308
国際出願日 25.09.2018
IPC
H01J 37/06 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
02細部
04電極装置および放電を発生しまたは制御するための関連部品,例.電子光学装置,イオン光学装置
06電子源;電子銃
CPC
H01J 37/06
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
出願人
  • 株式会社日立ハイテク HITACHI HIGH-TECH CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 松永 宗一郎 MATSUNAGA Soichiro
  • 片桐 創一 KATAGIRI Souichi
  • 糟谷 圭吾 KASUYA Keigo
  • 武居 亜紀 TAKEI Aki
  • 川野 源 KAWANO Hajime
  • 土肥 隆 DOI Takashi
代理人
  • ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.
優先権情報
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THERMAL FIELD EMISSION ELECTRON SOURCE AND ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE
(FR) SOURCE D'ÉLECTRONS À ÉMISSION DE CHAMP THERMIQUE ET DISPOSITIF D'APPLICATION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 熱電界放出電子源および電子ビーム応用装置
要約
(EN)
The present invention stabilizes the amount of the electron beam emitted from a thermal field emission electron source. Accordingly, the thermal field emission electron source has: a needle-shaped electron source 301; a metal wire 302 to which the electron source is fixed and which heats the electron source; a stem 303 fixed to an insulator and energizing the meal wire; a first electrode 304 having a first opening portion 304a and disposed so that the end of the electron source is projected from the first opening portion; a second electrode 306 having a second opening portion 306a; and an insulating body 307 for positioning the first electrode and the second electrode so that the central axis of the first opening portion and the central axis of the second opening portion coincide with each other and electrically insulating the first electrode from the second electrode. The thermal field emission electron source is provided with a structure for reducing the amount of a gas emitted by the heating of the first electrode.
(FR)
La présente invention stabilise la quantité du faisceau d'électrons émis par une source d'électrons à émission de champ thermique. En conséquence, la source d'électrons à émission de champ thermique comporte : une source d'électrons en forme d'aiguille 301; un fil métallique 302 auquel la source d'électrons est fixée et qui chauffe la source d'électrons; une tige 303 fixée à un isolant et excitant le fil métallique; une première électrode 304 ayant une première partie d'ouverture 304a et disposée de telle sorte que l'extrémité de la source d'électrons est projetée à partir de la première partie d'ouverture; une seconde électrode 306 ayant une seconde partie d'ouverture 306a; et un corps isolant 307 pour positionner la première électrode et la seconde électrode de telle sorte que l'axe central de la première partie d'ouverture et l'axe central de la seconde partie d'ouverture coïncident l'un avec l'autre et isoler électriquement la première électrode de la seconde électrode. La source d'électrons à émission de champ thermique comporte une structure pour réduire la quantité d'un gaz émis par le chauffage de la première électrode.
(JA)
熱電界放出電子源から放出される電子ビームの量を安定化する。このため、針状の電子源301と、電子源が固定され、電子源を加熱する金属線302と、絶縁碍子に固定され、金属線に通電するステム303と、第1の開口部304aを有し、第1の開口部より電子源の先端が突出するように配置される第1の電極304と、第2の開口部306aを有する第2の電極306と、第1の開口部の中心軸と第2の開口部の中心軸とが一致するように第1の電極と第2の電極とを位置決めし、第1の電極と第2の電極との電気的絶縁をとる絶縁体307とを有する熱電界放出電子源に対して、第1の電極が加熱されることにより放出されるガス量を低減する構造を設ける。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報