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1. WO2020026579 - バルブ装置

公開番号 WO/2020/026579
公開日 06.02.2020
国際出願番号 PCT/JP2019/021711
国際出願日 31.05.2019
IPC
F16K 7/16 2006.1
F機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
7ダイヤフラム締め切り装置,例.流路を閉鎖するために,全部は動かないが,変形される部材をもつもの
12平担,皿状,わん状,のダイヤフラム
14平担弁座面に対して変形されるように配置されているもの
16機械的に作動されるダイヤフラム,例.ねじスピンドルまたはカム作動
H01L 21/31 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
31半導体本体上への絶縁層の形成,例.マスキング用またはフォトリソグラフィック技術の使用によるもの;これらの層の後処理;これらの層のための材料の選択
CPC
F16K 11/022
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
11Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
02with all movable sealing faces moving as one unit
022comprising a deformable member
F16K 25/005
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
25Details relating to contact between valve members and seat
005Particular materials for seats or closure elements
F16K 7/16
FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
7Diaphragm ; valves or; cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage
12with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
14arranged to be deformed against a flat seat
16the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
H01L 21/31
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
04the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
18the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
30Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
31to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques
出願人
  • 株式会社フジキン FUJIKIN INCORPORATED [JP]/[JP]
発明者
  • 近藤 研太 KONDO Kenta
  • 篠原 努 SHINOHARA Tsutomu
  • 中田 知宏 NAKATA Tomohiro
  • 佐藤 秀信 SATO Hidenobu
代理人
  • 特許業務法人KEN知財総合事務所 KEN IP LAW FIRM
優先権情報
2018-14371331.07.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) VALVE DEVICE
(FR) DISPOSITIF VANNE
(JA) バルブ装置
要約
(EN) [Problem] To provide a valve device through which supply at a more accurate flow rate can be stably given while variation of the flow rate is suppressed among the devices. [Solution] The valve device comprises: a valve body 2; a valve seat 48; a metal alloy-made inner disk 3 including an inner annular portion 32, an outer annular portion 31, and a connection portion 37 connecting the inner annular portion 32 and the outer annular portion 31; a metal alloy-made diaphragm 41 that is provided so as to cover the inner disk 3 and the valve seat 48 and that connects and disconnects a first flow path 21 and second flow paths 22, 23 by moving between an open position in which the diaphragm 41 is not in contact with the valve seat 48 and a closed position in which the diaphragm 41 is in contact with the valve seat 48; and a pressing adaptor 43 that presses the circumferential edge of the diaphragm 41 against the outer annular portion 31, wherein the inner disk 3 has hardness which is higher than that of the valve seat 48 and is lower than that of the valve body 2 and that of the diaphragm 41.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à un dispositif vanne permettant d'obtenir, de manière stable, une alimentation à un débit plus précis, conjointement à la suppression de la variation du débit parmi les dispositifs. La solution selon l'invention concerne un dispositif vanne comprenant : un corps (2) de vanne ; un siège (48) de vanne ; un disque interne (3) en alliage métallique comportant une partie annulaire interne (32), une partie annulaire externe (31) et une partie de liaison (37) reliant la partie annulaire interne (32) à la partie annulaire externe (31) ; un diaphragme (41) en alliage métallique agencé de façon à recouvrir le disque interne (3) et le siège (48) de vanne et destiné à relier et à séparer un premier circuit d'écoulement (21) et des seconds circuits d'écoulement (22, 23) au moyen du déplacement entre une position ouverte, dans laquelle le diaphragme (41) n'est pas en contact avec le siège (48) de vanne, et une position fermée, dans laquelle le diaphragme (41) est en contact avec le siège (48) de vanne ; et un adaptateur de pression (43) destiné à exercer une pression sur le bord circonférentiel du diaphragme (41) contre la partie annulaire externe (31). Le disque interne (3) présente une dureté supérieure à celle du siège (48) de vanne et inférieure à celle du corps (2) de vanne et à celle du diaphragme (41).
(JA) 【課題】より正確な流量で安定的に供給可能で、装置間で流量のばらつきが抑制されたバルブ装置を提供する。 【解決手段】バルブボディ2と、バルブシート48と、内側環状部32、外側環状部31および内側環状部32と外側環状部31を接続する接続部37を有する金属合金製のインナーディスク3と、インナーディスク3およびバルブシート48を覆うように設けられ、バルブシート48に対して接触しない開位置及び接触する閉位置の間で移動することにより第1の流路21と第2の流路22,23との連通及び遮断を行う金属合金製のダイヤフラム41と、ダイヤフラム41の周縁部を外側環状部31に向けて押圧する押えアダプタ43と、を有し、インナーディスク3は、バルブシート48よりも高い硬度を有し、かつ、バルブボディ2およびダイヤフラム41の双方よりも低い硬度を有する。
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