(EN) [Problem] To provide a valve device through which supply at a more accurate flow rate can be stably given while variation of the flow rate is suppressed among the devices. [Solution] The valve device comprises: a valve body 2; a valve seat 48; a metal alloy-made inner disk 3 including an inner annular portion 32, an outer annular portion 31, and a connection portion 37 connecting the inner annular portion 32 and the outer annular portion 31; a metal alloy-made diaphragm 41 that is provided so as to cover the inner disk 3 and the valve seat 48 and that connects and disconnects a first flow path 21 and second flow paths 22, 23 by moving between an open position in which the diaphragm 41 is not in contact with the valve seat 48 and a closed position in which the diaphragm 41 is in contact with the valve seat 48; and a pressing adaptor 43 that presses the circumferential edge of the diaphragm 41 against the outer annular portion 31, wherein the inner disk 3 has hardness which is higher than that of the valve seat 48 and is lower than that of the valve body 2 and that of the diaphragm 41.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de pourvoir à un dispositif vanne permettant d'obtenir, de manière stable, une alimentation à un débit plus précis, conjointement à la suppression de la variation du débit parmi les dispositifs. La solution selon l'invention concerne un dispositif vanne comprenant : un corps (2) de vanne ; un siège (48) de vanne ; un disque interne (3) en alliage métallique comportant une partie annulaire interne (32), une partie annulaire externe (31) et une partie de liaison (37) reliant la partie annulaire interne (32) à la partie annulaire externe (31) ; un diaphragme (41) en alliage métallique agencé de façon à recouvrir le disque interne (3) et le siège (48) de vanne et destiné à relier et à séparer un premier circuit d'écoulement (21) et des seconds circuits d'écoulement (22, 23) au moyen du déplacement entre une position ouverte, dans laquelle le diaphragme (41) n'est pas en contact avec le siège (48) de vanne, et une position fermée, dans laquelle le diaphragme (41) est en contact avec le siège (48) de vanne ; et un adaptateur de pression (43) destiné à exercer une pression sur le bord circonférentiel du diaphragme (41) contre la partie annulaire externe (31). Le disque interne (3) présente une dureté supérieure à celle du siège (48) de vanne et inférieure à celle du corps (2) de vanne et à celle du diaphragme (41).
(JA) 【課題】より正確な流量で安定的に供給可能で、装置間で流量のばらつきが抑制されたバルブ装置を提供する。 【解決手段】バルブボディ２と、バルブシート４８と、内側環状部３２、外側環状部３１および内側環状部３２と外側環状部３１を接続する接続部３７を有する金属合金製のインナーディスク３と、インナーディスク３およびバルブシート４８を覆うように設けられ、バルブシート４８に対して接触しない開位置及び接触する閉位置の間で移動することにより第1の流路２１と第２の流路２２，２３との連通及び遮断を行う金属合金製のダイヤフラム４１と、ダイヤフラム４１の周縁部を外側環状部３１に向けて押圧する押えアダプタ４３と、を有し、インナーディスク３は、バルブシート４８よりも高い硬度を有し、かつ、バルブボディ２およびダイヤフラム４１の双方よりも低い硬度を有する。
