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1. (WO2020013299) 温度測定センサ、温度測定システム、および、温度測定方法
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国際公開番号: WO/2020/013299 国際出願番号: PCT/JP2019/027599
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 11.07.2019
IPC:
G01K 11/32 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
K
温度の測定;熱量の測定;他に分類されない感温素子
11
グループ3/00,5/00,7/00,または9/00に包含されない物理的または化学的変化に基づく温度測定
32
光ファイバーの伝送,散乱または螢光発光の変化を用いるもの
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
呉 同 WU Tong; JP
南 朋秀 MINAMI Tomohide; JP
宮川 正章 MIYAGAWA Masaaki; JP
代理人:
長谷川 芳樹 HASEGAWA Yoshiki; JP
黒木 義樹 KUROKI Yoshiki; JP
柏岡 潤二 KASHIOKA Junji; JP
優先権情報:
2018-13245912.07.2018JP
発明の名称: (EN) TEMPERATURE MEASUREMENT SENSOR, TEMPERATURE MEASUREMENT SYSTEM, AND TEMPERATURE MEASUREMENT METHOD
(FR) CAPTEUR DE MESURE DE TEMPÉRATURE, SYSTÈME DE MESURE DE TEMPÉRATURE ET PROCÉDÉ DE MESURE DE TEMPÉRATURE
(JA) 温度測定センサ、温度測定システム、および、温度測定方法
要約:
(EN) A temperature measurement sensor according to an exemplary embodiment comprises a substrate, and an optical fiber provided on an upper surface of the substrate and extending along the upper surface. The temperature measurement sensor further comprises a light introducing path that is a space connecting the space above the upper surface and the space below a lower surface of the substrate, and an optical coupling portion provided on the upper surface and disposed in the light introducing path. The optical coupling portion is optically connected to an end surface of the optical fiber. The optical fiber constitutes a first pattern shape and a second pattern shape. The first pattern shape includes the optical fiber more densely than the second pattern shape does. The light entering the optical coupling portion from the lower surface side through the light introducing path reaches the end surface through the optical coupling portion.
(FR) Un mode de réalisation donné à titre d'exemple de l'invention concerne un capteur de mesure de température comprenant un substrat et une fibre optique disposée sur une surface supérieure du substrat et s'étendant le long de la surface supérieure. Le capteur de mesure de température comprend en outre un trajet d'introduction de lumière constituant un espace reliant l'espace au-dessus de la surface supérieure et l'espace au-dessous d'une surface inférieure du substrat, et une partie de couplage optique située sur la surface supérieure et disposée dans le trajet d'introduction de lumière. La partie de couplage optique est reliée optiquement à une surface d'extrémité de la fibre optique. La fibre optique constitue une première forme de motif et une seconde forme de motif. Dans la première forme de motif, la fibre optique est plus dense que dans la seconde forme de motif. La lumière pénétrant la partie de couplage optique depuis le côté de surface inférieure à travers le trajet d'introduction de lumière atteint la surface d'extrémité à travers la partie de couplage optique.
(JA) 例示的実施形態に係る温度測定センサは、基板と、基板の上面に設けられており上面に沿って延びている光ファイバと、を備える。温度測定センサは、更に、上面の上の空間と基板の下面の下の空間とを連通する空間の光導入路と、上面に設けられ光導入路に配置された光結合部と、を備える。光結合部は、光ファイバの端面と光学的に接続される。光ファイバは、第1のパターン形状および第2のパターン形状を構成する。第1のパターン形状は、第2のパターン形状よりも光ファイバを密に含む。光導入路を介して下面の側から光結合部に入射する光は、光結合部を介して端面に至る。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)