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1. (WO2020013257) ワイヤボンディング装置
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国際公開番号: WO/2020/013257 国際出願番号: PCT/JP2019/027437
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 11.07.2019
予備審査請求日: 26.11.2019
IPC:
H01L 21/60 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
50
サブグループ21/06~21/326の一つに分類されない方法または装置を用いる半導体装置の組立
60
動作中の装置にまたは装置から電流を流すためのリードまたは他の導電部材の取り付け
出願人:
株式会社新川 SHINKAWA LTD. [JP/JP]; 東京都武蔵村山市伊奈平2丁目51番地の1 51-1, Inadaira 2-chome, Musashimurayama-shi, Tokyo 2088585, JP
発明者:
青柳 伸幸 AOYAGI, Nobuyuki; JP
雨宮 茂 AMEMIYA, Shigeru; JP
代理人:
特許業務法人YKI国際特許事務所 YKI INTELLECTUAL PROPERTY ATTORNEYS; 東京都武蔵野市吉祥寺本町一丁目34番12号 1-34-12, Kichijoji-Honcho, Musashino-shi, Tokyo 1800004, JP
優先権情報:
2018-13116511.07.2018JP
発明の名称: (EN) WIRE BONDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SOUDAGE DE FIL
(JA) ワイヤボンディング装置
要約:
(EN) The present invention includes: an ultrasonic horn (14) to which two ultrasonic vibrations can be input to excite a tip-mounted capillary (15) with different frequencies in the Y-direction and X-direction; and a control unit (50) which adjusts the respective amplitudes of the two ultrasonic vibrations, wherein the Y-direction is the direction in which the ultrasonic horn (14) extends. The control unit (50) adjusts the respective amplitudes of the two ultrasonic vibrations to adjust the amplitude ratio (ΔY/ΔX) of the vibrations of the capillary (15) in the Y-direction and the X-direction. Thus, degradation in the quality of the joints of wires and leads is suppressed.
(FR) La présente invention comprend : un émetteur ultrasonore (14) auquel deux vibrations ultrasonores peuvent être entrées pour exciter un capillaire monté en pointe (15) avec différentes fréquences dans la direction Y et dans la direction X; et une unité de commande (50) qui ajuste les amplitudes respectives des deux vibrations ultrasonores, la direction Y étant la direction dans laquelle s'étend l'émetteur ultrasonore (14). L'unité de commande (50) règle les amplitudes respectives des deux vibrations ultrasonores pour ajuster le rapport d'amplitude (ΔY/ΔX) des vibrations du capillaire (15) dans la direction Y et la direction X. Ainsi, la dégradation de la qualité des jonctions de fils et de câbles est supprimée.
(JA) 2つの超音波振動が入力されて先端に取り付けらけれたキャピラリ(15)を異なる周波数でY方向とX方向とに加振可能な超音波ホーン(14)と、2つの超音波振動の各振動の大きさを調整する制御部(50)と、を含み、Y方向は、超音波ホーン(14)の伸びる方向であり、制御部(50)は、2つの超音波振動の各振動の大きさを調整することにより、キャピラリ(15)のY方向とX方向との振幅の比率(ΔY/ΔX)を調整する。これにより、ワイヤとリードとの接合品質の低下を抑制する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)