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国際・国内特許データベース検索
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1. (WO2020013151) 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置
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国際公開番号: WO/2020/013151 国際出願番号: PCT/JP2019/027067
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 09.07.2019
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B24B 37/26 (2012.01) ,B24B 37/30 (2012.01) ,B24B 41/06 (2012.01) ,B24B 57/02 (2006.01) ,B65G 39/04 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
11
ラップ工具
20
平面を加工するためのラッピングパッド
26
ラッピングパッドの表面の形状,例.溝切りに特徴のあるもの
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
37
ラッピング機械または装置;附属装置
27
ラッピングキャリア
30
平面の片面ラッピングのためのもの
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
41
フレーム,ベッド,往復台,主軸台,などの研削機械または装置の構成部分
06
工作物支持具,例.調節可能な支持台
B 処理操作;運輸
24
研削;研磨
B
研削または研磨するための機械,装置,または方法;研削面のドレッシングまたは正常化;研削剤,研磨剤,またはラッピング剤の供給
57
研削,研磨またはラッピング剤の供給,適用,分級または再生のための装置
02
流体状,噴霧状,粉状,または液体研削,研磨またはラップ剤を供給するもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
39
ローラウエイもしくは他の型の機械的コンベヤに組み込まれたローラ,例.駆動ローラ,またはその構成
02
個々のローラとそのための支持物の適用
04
そのローラが単一軸に取り付けられた多数のローラ形成要素からなっているもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
株式会社荏原製作所 EBARA CORPORATION [JP/JP]; 東京都大田区羽田旭町11番1号 11-1, Haneda Asahi-cho, Ota-ku, Tokyo 1448510, JP
発明者:
谷澤 昭尋 YAZAWA, Akihiro; JP
木場 隆 KOBA, Takashi; JP
小林 賢一 KOBAYASHI, Kenichi; JP
赤澤 賢一 AKAZAWA, Kenichi; JP
杜 峯杰 DU, Fong-Jie; JP
柏木 誠 KASHIWAGI, Makoto; JP
眞継 阿沙葵 MATSUGU, Asagi; JP
南條 貴弘 NANJO, Takahiro; JP
青山 英治 AOYAMA, Hideharu; JP
三ツ谷 隆 MITSUYA, Takashi; JP
戸川 哲二 TOGAWA, Tetsuji; JP
代理人:
小野 新次郎 ONO, Shinjiro; JP
宮前 徹 MIYAMAE, Toru; JP
鐘ヶ江 幸男 KANEGAE, Yukio; JP
渡邊 誠 WATANABE, Makoto; JP
優先権情報:
2018-13223112.07.2018JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE-CONVEYING DEVICE, AND SUBSTRATE-PROCESSING DEVICE COMPRISING SUBSTRATE-CONVEYING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT COMPRENANT UN DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置および基板搬送装置を備える基板処理装置
要約:
(EN) According to one embodiment for supplying an automated device that conveys a rectangular substrate, a substrate-conveying device is provided for conveying the rectangular substrate, the substrate-conveying device having: a plurality of conveying rollers configured so as to support the bottom surface of the substrate; a plurality of roller shafts to which the plurality of conveying rollers are attached; a motor for rotating the plurality of roller shafts; and a pusher for raising the substrate that is on the plurality of conveying rollers so that the substrate is separated from the plurality of conveying rollers, the pusher having a stage that can pass through a gap among the plurality of roller shafts.
(FR) Selon un mode de réalisation de la présente invention pour fournir un dispositif automatisé qui transporte un substrat rectangulaire, un dispositif de transport de substrat est prévu pour transporter le substrat rectangulaire, le dispositif de transport de substrat ayant : une pluralité de rouleaux de transport configurés de façon à supporter la surface inférieure du substrat ; une pluralité d'arbres de rouleau auxquels la pluralité de rouleaux de transport sont attachés ; un moteur pour faire tourner la pluralité d'arbres de rouleau ; et un poussoir pour soulever le substrat qui est sur la pluralité de rouleaux de transport de telle sorte que le substrat est séparé de la pluralité de rouleaux de transport, le poussoir ayant un étage qui peut passer à travers un espace parmi la pluralité d'arbres de rouleau.
(JA) 四角形の基板を搬送する自動化された装置を提供する 一実施形態によれば、四角形の基板を搬送するための基板搬送装置が提供され、かかる基板搬送装置は、基板の下面を支持するように構成される複数の搬送ローラと、前記複数の搬送ローラが取り付けられる複数のローラシャフトと、前記複数のローラシャフトを回転させるためのモータと、前記複数の搬送ローラの上にある基板を、前記複数の搬送ローラから離れるように持ち上げるためのプッシャと、を有し、前記プッシャは、前記複数のローラシャフトの間の隙間を通過することが可能なステージを有する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)