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1. (WO2020012998) セラミックヒータ
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国際公開番号: WO/2020/012998 国際出願番号: PCT/JP2019/026050
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 01.07.2019
IPC:
H05B 3/14 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01) ,H05B 3/06 (2006.01) ,H05B 3/20 (2006.01)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
10
材料の組成または性質または導体の配置に特徴のある加熱要素(組成それ自体は,関連するサブクラスを参照)
12
導体材料の組成または性質に特徴のあるもの
14
材料が非金属のもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
02
細部
06
結合素子または支持体と構造的に組み合わせた発熱素子
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
3
抵抗加熱
20
2次元の平面の表面をもつ発熱素子,例.プレートヒータ
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-city, Aichi 4678530, JP
発明者:
海野 豊 UNNO, Yutaka; JP
代理人:
特許業務法人アイテック国際特許事務所 ITEC INTERNATIONAL PATENT FIRM; 愛知県名古屋市中区錦二丁目16番26号SC伏見ビル SC Fushimi Bldg., 16-26, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
2018-13282613.07.2018JP
発明の名称: (EN) CERAMIC HEATER
(FR) DISPOSITIF DE CHAUFFAGE EN CÉRAMIQUE
(JA) セラミックヒータ
要約:
(EN) This ceramic heater (10) comprises a ceramic plate (20) that has a wafer placement surface (20a) and is equipped with a resistor heat-generating element (22), and a ceramic tubular shaft (30) that is tubular in shape and is joined to a reverse surface (20b) of the plate (20). The plate (20) has a bottomed circular recess (23) in the reverse surface. The tubular shaft (30) has a plate-side flange (32) that protrudes radially outward from the outer peripheral surface of a plate-side end part. The entirety of an end surface (30a) of the plate-side end part of the tubular shaft (30) is joined to a joining region (horizontal surface portion (24a) of a projection (24)) on the reverse surface (20b) of the plate (20), the joining region being on the outer side of the circular recess (23). The diameter d1 of an opening in the plate-side end part of the tubular shaft (30), the inside diameter d2 of the plate-side flange (32) of the tubular shaft (30), and the diameter D1 of the circular recess (23) in the plate (20) satisfy the relationship d2 ≥ d1 ≥ D1.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de chauffage en céramique (10) qui comprend une plaque de céramique (20) qui a une surface de placement de tranche (20a) et qui comprend un élément résistif de génération de chaleur (22), et un arbre tubulaire en céramique (30) qui est de forme tubulaire et qui est relié à une surface arrière (20b) de la plaque (20). La plaque (20) a un évidement circulaire à fond (23) dans la surface arrière. L'arbre tubulaire (30) a une bride côté plaque (32) qui fait saillie radialement vers l'extérieur à partir de la surface périphérique externe d'une partie d'extrémité côté plaque La totalité d'une surface d'extrémité (30a) de la partie d'extrémité côté plaque de l'arbre tubulaire (30) est jointe à une région de jonction (partie de surface horizontale (24a) d'une saillie (24)) sur la surface arrière (20b) de la plaque (20), la région de jonction étant sur le côté extérieur de l'évidement circulaire (23). Le diamètre d1 d'une ouverture dans la partie d'extrémité côté plaque de l'arbre tubulaire (30), le diamètre intérieur d2 de la bride côté plaque (32) de l'arbre tubulaire (30), et le diamètre D1 de l'évidement circulaire (23) dans la plaque (20) satisfont la relation d2 ≥ d1 ≥ D1.
(JA) セラミックヒータ(10)は、ウエハ載置面(20a)を有し抵抗発熱体(22)を内蔵したセラミック製のプレート(20)と、プレート(20)の裏面(20b)に接合された筒状でセラミック製の筒状シャフト(30)とを備えている。プレート(20)は、裏面に有底の円形凹部(23)を有している。筒状シャフト(30)は、プレート側端部の外周面から半径外方向に突き出したプレート側フランジ(32)を有している。筒状シャフト(30)のプレート側端部の端面(30a)は、全面がプレート(20)の裏面(20b)のうち円形凹部(23)の外側の接合領域(突起(24)の水平面部分(24a))に接合されている。筒状シャフト(30)のプレート側端部の開口の直径d1と、筒状シャフト(30)のプレート側フランジ(32)の内径d2と、プレート(20)の円形凹部(23)の直径D1とは、d2≧d1≧D1を満たす。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)