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1. (WO2020012849) ガス流量検定ユニット
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国際公開番号: WO/2020/012849 国際出願番号: PCT/JP2019/022869
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 10.06.2019
IPC:
G01F 25/00 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
F
体積,体積流量,質量流量,または液位の測定;体積による測定
25
体積,体積流量,もしくは液位を測定するための,または体積によって計量するための装置の試験または較正
出願人:
CKD株式会社 CKD CORPORATION [JP/JP]; 愛知県小牧市応時二丁目250番地 250, Ouji 2-chome, Komaki-shi, Aichi 4858551, JP
発明者:
城山 直也 SHIROYAMA Naoya; JP
代理人:
特許業務法人コスモス国際特許商標事務所 COSMOS INTERNATIONAL PATENT & TRADEMARK OFFICE; 愛知県名古屋市中区錦二丁目2番22号 名古屋センタービル別館2階 Annex 2nd Floor, Nagoya Center Building, 2-22, Nishiki 2-chome, Naka-ku, Nagoya-shi, Aichi 4600003, JP
優先権情報:
2018-12978409.07.2018JP
発明の名称: (EN) GAS FLOW RATE TESTING UNIT
(FR) UNITÉ D’ESSAI DE DÉBIT DE GAZ
(JA) ガス流量検定ユニット
要約:
(EN) This gas flow rate testing unit (1A) is disposed between a mass flow controller (20) and a vacuum pump (30) and tests the accuracy of the mass flow controller (20) on the basis of the time (t) it takes for the pressure measured by a pressure gauge (103) to change from a prescribed measurement start pressure (P1) to a prescribed second pressure value (P2) after first and second output valves (105, 106) are closed, a fluid temperature, and the volume from the output of the mass controller (20) to the inputs of the first and second output valves (105, 106), said gas flow rate testing unit being configured such that the first and second output valves (105, 106) are arranged in parallel, and an orifice 107 for adjusting the pressure of the gas for testing is disposed on the output side of the second output valve 106.
(FR) La présente invention concerne une unité d’essai de débit de gaz (1A) qui est disposée entre un contrôleur de débit massique (20) et une pompe à vide (30) et teste la précision du contrôleur de débit massique (20) sur la base du temps (t) nécessaire pour que la pression mesurée par une jauge de pression (103) change d’une pression de début de mesure prescrite (P1) à une deuxième valeur de pression prescrite (P2) après que des première et deuxième vannes de sortie (105, 106) soient fermées, une température de fluide et le volume de la sortie du contrôleur de masse (20) aux entrées des première et deuxième vannes de sortie (105, 106), ladite unité d’essai de débit de gaz étant configurée de sorte que les première et deuxième vannes de sortie (105, 106) soient agencées en parallèle, et un orifice 107 pour ajuster la pression du gaz à tester est disposé sur le côté de sortie de la deuxième vanne de sortie 106.
(JA) マスフローコントローラ(20)と真空ポンプ(30)の間に配設され、第1及び第2出力弁(105,106)を閉弁した後、圧力計(103)が計測する圧力が既定の測定開始圧力(P1)から所定の第2圧力値(P2)に変化する時間(t)、流体の温度、及びマスフローコントローラ(20)の出力から第1および第2出力弁(105,106)の入力までの容積から、マスフローコントローラ(20)の精度を検定するガス流量検定ユニット(1A)において、第1および第2出力弁(105,106)が並列に配置され、第2出力弁106の出口側に検定対象となるガスの圧力を調節するオリフィス107が配置されているガス流量検定ユニット(1A)とする。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)