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1. (WO2020012824) 固体撮像素子および電子機器
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国際公開番号: WO/2020/012824 国際出願番号: PCT/JP2019/021956
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 03.06.2019
IPC:
H01L 27/146 (2006.01) ,H01L 21/76 (2006.01) ,H01L 31/10 (2006.01) ,H04N 5/369 (2011.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14
赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144
輻射線によって制御される装置
146
固体撮像装置構造
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
70
1つの共通基板内または上に形成された複数の固体構成部品または集積回路からなる装置またはその特定部品の製造または処理;集積回路装置またはその特定部品の製造
71
グループ21/70で限定された装置の特定部品の製造
76
構成部品間の分離領域の形成
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
31
赤外線,可視光,短波長の電磁波,または粒子線輻射に感応する半導体装置で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御かのどちらかに特に適用されるもの;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの細部
08
輻射線が装置内を流れる電流を制御するもの,例.光―抵抗器(フォト―レジスター)
10
少なくとも1つの電位障壁または表面障壁に特徴のあるもの,例.フォトトランジスタ
H 電気
04
電気通信技術
N
画像通信,例.テレビジョン
5
テレビジョン方式の細部
30
光または類似信号から電気信号への変換
335
固体撮像素子を用いるもの
369
固体撮像素子の構造,固体撮像素子と関連する回路に特徴のあるもの
出願人:
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 SONY SEMICONDUCTOR SOLUTIONS CORPORATION [JP/JP]; 神奈川県厚木市旭町四丁目14番1号 4-14-1, Asahicho, Atsugi-shi, Kanagawa 2430014, JP
発明者:
正垣 敦 MASAGAKI, Atsushi; JP
代理人:
特許業務法人つばさ国際特許事務所 TSUBASA PATENT PROFESSIONAL CORPORATION; 東京都新宿区新宿1丁目15番9号さわだビル3階 3F, Sawada Building, 15-9, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022, JP
優先権情報:
2018-13327113.07.2018JP
発明の名称: (EN) SOLID-STATE IMAGING ELEMENT AND ELECTRONIC DEVICE
(FR) ÉLÉMENT D'IMAGERIE À SEMI-CONDUCTEURS ET DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
(JA) 固体撮像素子および電子機器
要約:
(EN) The solid-state imaging element according to one embodiment of the present invention includes: a semiconductor substrate which has a photoelectric conversion part for each pixel; a pixel transistor provided on one surface of the semiconductor substrate; and an element isolation part which is provided on the semiconductor substrate, includes a first element isolation part and a second element isolation part that have different configurations, and defines an active region of the pixel transistor. The second element isolation part has, on a side surface in a depth direction of the second element isolation part, a first semiconductor region and a second semiconductor region which have different impurity concentrations.
(FR) L'élément d'imagerie à semi-conducteurs selon un mode de réalisation de la présente invention comprend : un substrat semi-conducteur qui a une partie de conversion photoélectrique pour chaque pixel ; un transistor de pixel disposé sur une surface du substrat semi-conducteur ; et une partie d'isolation d'élément qui est disposée sur le substrat semi-conducteur, comprend une première partie d'isolation d'élément et une seconde partie d'isolation d'élément qui ont des configurations différentes, et définit une région active du transistor à pixel. La seconde partie d'isolation d'élément a, sur une surface latérale dans une direction de profondeur de la seconde partie d'isolation d'élément, une première région semi-conductrice et une seconde région semi-conductrice qui ont des concentrations d'impuretés différentes.
(JA) 本開示の一実施形態の固体撮像素子は、画素毎に光電変換部を有する半導体基板と、半導体基板の一の面に設けられた画素トランジスタと、半導体基板に設けられ、互いに異なる構成の第1の素子分離部および第2の素子分離部を含む、画素トランジスタの活性領域を規定する素子分離部とを備え、第2の素子分離部の側面に第2の素子分離部の深さ方向に互いに不純物濃度の異なる第1の半導体領域および第2の半導体領域を有する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)