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1. (WO2020012771) レーザ加工装置、レーザ加工方法及び成膜マスクの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2020/012771 国際出願番号: PCT/JP2019/018507
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 09.05.2019
IPC:
B23K 26/36 (2014.01) ,B23K 26/073 (2006.01) ,B23K 26/082 (2014.01)
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26
レーザービームによる加工,例.溶接,切断,穴あけ
36
材料の除去
B 処理操作;運輸
23
工作機械;他に分類されない金属加工
K
ハンダ付またはハンダ離脱;溶接;ハンダ付または溶接によるクラッドまたは被せ金;局部加熱による切断,例.火炎切断:レーザービームによる加工
26
レーザービームによる加工,例.溶接,切断,穴あけ
02
加工物の位置決めまたは観察,例.照射点に関するもの;レーザービームの軸合せ,照準,焦点合せ
06
レーザービーム光の成形,例.マスクまたは多焦点装置によるもの
073
レーザー・スポットの成形
[IPC code unknown for B23K 26/082]
出願人:
株式会社ブイ・テクノロジー V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 神奈川県横浜市保土ヶ谷区神戸町134番地 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005, JP
発明者:
齋藤 雄二 SAITO, Yuji; JP
平山 秀雄 HIRAYAMA, Hideo; JP
代理人:
小川 護晃 OGAWA, Moriaki; JP
西山 春之 NISHIYAMA, Haruyuki; JP
奥山 尚一 OKUYAMA, Shoichi; JP
優先権情報:
2018-12970909.07.2018JP
発明の名称: (EN) LASER MACHINING DEVICE, LASER MACHINING METHOD, AND PRODUCTION METHOD FOR FILM-FORMATION MASK
(FR) DISPOSITIF D'USINAGE LASER, PROCÉDÉ D'USINAGE LASER ET FEUILLE MINCE USINÉE À L'AIDE DE CE DERNIER
(JA) レーザ加工装置、レーザ加工方法及び成膜マスクの製造方法
要約:
(EN) The present invention comprises: a laser optical system 1 that generates a line beam Lb; a shadow mask 2 that is arranged downstream of the laser optical system 1 in a light advancement direction and has provided therein a plurality of open windows that correspond to a plurality of opening patterns that are to be laser machined into a mask member 9; a projection lens 3 that projects an image of the shadow mask 2 onto the mask member 9; a movement mechanism 4 that makes the line beam Lb, which is radiated onto the shadow mask 2, move relative to the shadow mask 2 and the projection lens 3 in a direction that intersects the long axis of the line beam Lb; and a stage 5 that carries the mask member 9.
(FR) La présente invention comprend : un système optique laser 1 qui génère un faisceau linéaire Lb ; un masque perforé disposé en aval du système optique laser dans une direction d'avancement de la lumière et pourvu d’une pluralité de fenêtres ouvertes qui correspondent à une pluralité de motifs d'ouverture qui doivent être usinés au laser dans un élément formant masque ; une lentille de projection qui projette une image du masque perforé sur l'élément formant masque ; un mécanisme de déplacement qui amène le faisceau linéaire, qui est rayonné sur le masque perforé, à se déplacer par rapport au masque perforé 2 et à la lentille de projection 3 dans une direction qui coupe l'axe long du faisceau linéaire Lb ; et un étage 5 qui porte l'élément formant masque 9.
(JA) 本発明は、ラインビームLbを生成するレーザ光学系1と、前記レーザ光学系1の光進行方向下流側に配置され、マスク用部材9にレーザ加工される複数の開口パターンに対応して複数の開口窓を設けたシャドーマスク2と、前記シャドーマスク2の像を前記マスク用部材9上に投影する投影レンズ3と、前記シャドーマスク2上に照射される前記ラインビームLbを前記シャドーマスク2及び前記投影レンズ3に対して相対的に、前記ラインビームLbの長軸と交差する方向に移動させる移動機構4と、前記マスク用部材9を載置して保持するステージ5と、を備えたものである。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)