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1. (WO2020012723) MEMS素子及びそれを用いたシャッタ装置
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国際公開番号: WO/2020/012723 国際出願番号: PCT/JP2019/011811
国際公開日: 16.01.2020 国際出願日: 20.03.2019
IPC:
B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/02 (2006.01) ,G03B 9/10 (2006.01)
B 処理操作;運輸
81
マイクロ構造技術
B
マイクロ構造装置またはシステム,例.マイクロマシン装置
3
可撓性の,または変形可能な要素,例.弾性のある舌片または薄膜,からなる装置
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
26
可動または変形可能な光学要素を用いて,光の強度,色,位相,偏光または方向を制御,例.スイッチング,ゲーティング,変調する光学装置または光学的配置
02
光の強度を制御するためのもの
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
B
写真を撮影するためのまたは写真を投影もしくは直視するための装置または配置;光波以外の波を用いる類似技術を用いる装置または配置;そのための付属品
9
露出を行なうシャッター;絞り
08
シャッター
10
その平面に対する垂直軸の周りに回転または旋回しうる羽根または円板
出願人:
住友精密工業株式会社 SUMITOMO PRECISION PRODUCTS CO., LTD. [JP/JP]; 兵庫県尼崎市扶桑町1番10号 1-10, Fuso-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600891, JP
発明者:
木内 万里夫 KIUCHI Mario; JP
代理人:
特許業務法人前田特許事務所 MAEDA & PARTNERS; 大阪府大阪市北区堂島浜1丁目2番1号 新ダイビル23階 Shin-Daibiru Bldg. 23F, 2-1, Dojimahama 1-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300004, JP
優先権情報:
2018-13008909.07.2018JP
発明の名称: (EN) MEMS ELEMENT AND SHUTTER DEVICE EMPLOYING SAME
(FR) ÉLÉMENT MEMS ET DISPOSITIF OBTURATEUR FAISANT APPEL AUDIT ÉLÉMENT
(JA) MEMS素子及びそれを用いたシャッタ装置
要約:
(EN) A displacement enlarging mechanism 510 comprising a MEMS element includes: a base board 200; a fixed portion 1 provided on the base board 200; an opening 2 provided in the fixed portion 1; an actuator 3 of which both ends are connected to the fixed portion 1; a beam 5 of which a base end side is connected to the actuator 3, and which extends parallel to an upper surface of the base board 200; a driven member 7 connected to a distal end side of the beam 5; and a supporting portion 9 which divides the opening 2 in a plan view, while being disposed parallel to the actuator 3 and having both ends thereof connected to the fixed portion 1. The actuator 3, the beam 5, the driven member 7, and the supporting portion 9 are disposed within the opening 2 in a plan view.
(FR) Un mécanisme d'amplification de déplacement (510) comprenant un élément MEMS comprend : une carte de base (200) ; une partie fixe (1) prévue sur la plaque de base (200) ; une ouverture (2) prévue dans la partie fixe (1) ; un actionneur (3) dont les deux extrémités sont reliées à la partie fixe (1) ; un faisceau (5) dont un côté d'extrémité de base est relié à l'actionneur (3), et qui s'étend parallèlement à une surface supérieure de la plaque de base (200) ; un élément entraîné (7) relié à un côté d'extrémité distale du faisceau (5) ; et une partie de support (9) qui divise l'ouverture (2) dans une vue en plan, tout en étant disposée parallèlement à l'actionneur (3) et dont les deux extrémités sont reliées à la partie fixe (1). L'actionneur (3), le faisceau (5), l'élément entraîné (7) et la partie de support (9) sont disposés à l'intérieur de l'ouverture (2) dans une vue en plan.
(JA) MEMS素子である変位拡大機構510は、基板200と、基板200に設けられた固定部1と、固定部1に設けられた開口2と、両端が固定部1に接続されたアクチュエータ3と、基端側がアクチュエータ3に接続され、基板200の上面と平行に延在するビーム5と、ビーム5の先端側に接続された被駆動部材7と、平面視で開口2を分割する一方、両端が固定部1に接続されてアクチュエータ3と並列に配置された支持部9と、を有している。アクチュエータ3とビーム5と被駆動部材7と支持部9とは、平面視で開口2内に配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)