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1. (WO2020008978) 補強ペリクル膜及び補強ペリクル膜の製造方法
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国際公開番号: WO/2020/008978 国際出願番号: PCT/JP2019/025424
国際公開日: 09.01.2020 国際出願日: 26.06.2019
IPC:
G03F 1/62 (2012.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
1
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造に用いる原稿,例.マスク,フォトマスク又はレチクル;そのためのマスクブランク又はペリクル;特にそれに適合した容器;その準備
62
ペリクル又はペリクル構造体,例.支持フレーム上に薄膜を備えるもの;その準備
出願人:
株式会社カネカ KANEKA CORPORATION [JP/JP]; 大阪府大阪市北区中之島二丁目3番18号 2-3-18, Nakanoshima, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5308288, JP
発明者:
川島 雄樹 KAWASHIMA, Yuki; JP
代理人:
特許業務法人アスフィ国際特許事務所 USFI PATENT ATTORNEYS INTERNATIONAL OFFICE; 大阪府大阪市北区堂島2丁目1番16号 フジタ東洋紡ビル9階 Fujita-Toyobo Building 9th floor, 1-16, Dojima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300003, JP
優先権情報:
2018-12934506.07.2018JP
発明の名称: (EN) REINFORCED PELLICLE FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) FILM DE PELLICULE RENFORCÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI
(JA) 補強ペリクル膜及び補強ペリクル膜の製造方法
要約:
(EN) The objective of the present invention is to provide a reinforced pellicle film that suppresses the generation of outgas, has high heat resistance and durability, and has excellent EUV transmissivity. A reinforced pellicle film characterized by comprising a pellicle film constituted from a carbon film, and a support material layer formed on one or both surfaces of the pellicle film and having a plurality of openings, the pellicle film and the support material layer comprising the same carbon material.
(FR) La présente invention a pour objectif de fournir un film de pellicule renforcé qui supprime la génération de gaz libéré, a une résistance à la chaleur et une durabilité élevées, et a un excellent pouvoir de transmission de rayons ultraviolets extrêmes. Un film de pellicule renforcé est caractérisé en ce qu'il comprend un film de pellicule constitué d'un film de carbone, et une couche de matériau de support formée sur une ou les deux surfaces du film de pellicule et ayant une pluralité d'ouvertures, le film de pellicule et la couche de matériau de support comprenant le même matériau de carbone.
(JA) 本発明は、アウトガスの発生を抑制し、耐熱性及び耐久性が高く、EUV透過率に優れる補強ペリクル膜等を提供することを目的とする。 炭素膜から構成されるペリクル膜と、このペリクル膜の片面又は両面に形成された複数の開口部を有する支持材層とを備え、該ペリクル膜と該支持材層が同一炭素材料からなることを特徴とする補強ペリクル膜。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)