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1. (WO2020008825) 基板検査装置および基板検査方法
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国際公開番号: WO/2020/008825 国際出願番号: PCT/JP2019/023300
国際公開日: 09.01.2020 国際出願日: 12.06.2019
IPC:
G01N 21/88 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21
光学的手段,すなわち.赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84
特殊な応用に特に適合したシステム
88
きず,欠陥,または汚れの存在の調査
出願人:
株式会社小糸製作所 KOITO MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 東京都港区高輪4丁目8番3号 8-3, Takanawa 4-chome, Minato-ku, Tokyo 1088711, JP
発明者:
窪田 誠明 KUBOTA, Tomoaki; JP
中川 智之 NAKAGAWA, Tomoyuki; JP
代理人:
藤岡 隆浩 FUJIOKA, Takahiro; JP
優先権情報:
2018-12614502.07.2018JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE INSPECTION DEVICE AND SUBSTRATE INSPECTION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'INSPECTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ D'INSPECTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板検査装置および基板検査方法
要約:
(EN) Provided are a substrate inspection device and a substrate inspection method by which defects or cracks generated during division of a ceramic substrate can be excellently judged. This substrate inspection device for inspecting a defect of a ceramic substrate (13) having been divided, is provided with: a camera unit (11) that is disposed on a first surface (13a) side of the ceramic substrate (13) and takes an image of the first surface (13a); a first irradiation unit (12) that is disposed on the first surface (13a) side and irradiates the first surface (13a) with light; a second irradiation unit (14) that is disposed on a second surface (13b) side opposite to the first surface (13a) side and irradiates the second surface (13b) with light; and a defect recognition unit that recognizes the image taken by the camera unit (11) and makes a judgement whether or not there is a defect.
(FR) L'invention concerne un dispositif d'inspection de substrat et un procédé d'inspection de substrat qui permettent une excellent estimation des défauts ou des fissures générés pendant la division d'un substrat en céramique. Ce dispositif d'inspection de substrat, destiné à inspecter un défaut d'un substrat céramique (13) ayant été divisé, comporte : une unité d'appareil de prise de vues (11) qui est disposée sur le côté de la première surface (13a) du substrat céramique (13) et capture une image de la première surface (13a) ; une première unité d'irradiation (12) qui est disposée sur le côté de la première surface (13a) et irradie la première surface (13a) avec de la lumière ; une deuxième unité d'irradiation (14) qui est disposée sur le côté d'une deuxième surface (13b) opposé au côté de la première surface (13a) et irradie la deuxième surface (13b) avec de la lumière ; et une unité de reconnaissance de défaut qui reconnaît l'image prise par l'unité d'appareil de prise de vues (11) et évalue s'il existe ou non un défaut.
(JA) セラミック基板の分割時に生じた欠けやクラックを良好に判別することができる基板検査装置および基板検査方法を提供する。分割されたセラミック基板(13)の欠陥を検査する基板検査装置であって、セラミック基板(13)の第1面(13a)側に配置されて、第1面(13a)を撮像するカメラ部(11)と、第1面(13a)側に配置されて、第1面(13a)に対して光を照射する第1照射部(12)と、第1面(13a)と反対側の第2面(13b)側に配置されて、第2面(13b)に対して光を照射する第2照射部(14)と、カメラ部(11)で撮像された画像を画像認識して欠陥の有無を判断する欠陥認識部を備える。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)