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国際・国内特許データベース検索
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1. (WO2020008599) エネルギ計測装置及びエキシマレーザ装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2020/008599 国際出願番号: PCT/JP2018/025567
国際公開日: 09.01.2020 国際出願日: 05.07.2018
IPC:
H01S 3/225 (2006.01) ,H01S 3/13 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
14
活性媒質として使用する物質に特徴のあるもの
22
ガス
223
活性ガスが多原子,すなわち2個以上の原子を含むもの
225
エキシマまたはエキシプレックスからなるもの
H 電気
01
基本的電気素子
S
誘導放出を用いた装置
3
レーザ,すなわち誘導放出を用いた赤外線,可視光あるいは紫外線の発生,増幅,変調,復調あるいは周波数変換のための装置
10
放出された放射線の強度,周波数,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲート,変調または復調
13
レーザ出力パラメータ,例.周波数,振幅,の安定
出願人:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
発明者:
渡邊 陽介 WATANABE, Yosuke; JP
守屋 正人 MORIYA, Masato; JP
代理人:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) ENERGY MEASUREMENT DEVICE AND EXCIMER LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE D'ÉNERGIE ET DISPOSITIF LASER EXCIMÈRE
(JA) エネルギ計測装置及びエキシマレーザ装置
要約:
(EN) In the energy measurement device according to an aspect of the present disclosure, a part of main light is sequentially reflected by a first beam splitter, a second beam splitter, a third beam splitter, and a fourth beam splitter and inputted into an energy sensor. The first beam splitter, the second beam splitter, the third beam splitter, and the fourth beam splitter are disposed so as to produce a light path bending direction and incidence angle at which a change in the value detected by the energy sensor due to a change in polarization purity and a change in the incidence angle of the main light is suppressed.
(FR) La présente invention, selon un aspect, concerne un dispositif de mesure d'énergie selon lequel une partie de lumière principale est successivement réfléchie par un premier diviseur de faisceau, un deuxième diviseur de faisceau, un troisième diviseur de faisceau et un quatrième diviseur de faisceau et est entrée dans un capteur d'énergie. Le premier diviseur de faisceau, le deuxième diviseur de faisceau, le troisième diviseur de faisceau et le quatrième diviseur de faisceau sont disposés de façon à produire une direction de courbure de trajet de lumière et un angle d'incidence auxquels sont supprimés une variation de la valeur détectée par le capteur d'énergie due à une variation de pureté de polarisation et à une variation de l'angle d'incidence de la lumière principale.
(JA) 本開示の一観点に係るエネルギ計測装置は、メイン光の一部を第1ビームスプリッタ、第2ビームスプリッタ、第3ビームスプリッタ、及び第4ビームスプリッタで順に反射してエネルギセンサに入力する。第1ビームスプリッタ、第2ビームスプリッタ、第3ビームスプリッタ、及び第4ビームスプリッタは、メイン光の入射角変化及び偏光純度変化によるエネルギセンサの検出値の変化を抑制する入射角、光路の折り曲げ方向となるように配置されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)