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国際・国内特許データベース検索
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1. (WO2020004055) 真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム
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国際公開番号: WO/2020/004055 国際出願番号: PCT/JP2019/023435
国際公開日: 02.01.2020 国際出願日: 13.06.2019
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
04
液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ
D
非容積形ポンプ
19
特に圧縮性流体のための軸流ポンプ
02
多段ポンプ
04
高真空をつくるために特に採用されるもの,例.分子ポンプ
出願人:
エドワーズ株式会社 EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 千葉県八千代市吉橋1078番地1 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
発明者:
樺澤 剛志 KABASAWA Takashi; JP
優先権情報:
2018-12176327.06.2018JP
発明の名称: (EN) VACUUM PUMP, STATOR COLUMN, BASE, AND VACUUM PUMP EXHAUST SYSTEM
(FR) POMPE À VIDE, COLONNE DE STATOR, BASE ET SYSTÈME D'ÉCHAPPEMENT DE POMPE À VIDE
(JA) 真空ポンプ、ステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システム
要約:
(EN) [Problem] To provide: a vacuum pump for accurately measuring the temperature of a rotary part at a low cost; a stator column of the vacuum pump; a base; and a vacuum pump exhaust system. [Solution] In a vacuum pump according to the present embodiment, a screw groove-type seal is provided in a flow path of purge gas on the downstream side of a temperature sensor unit and causes a portion of the purge gas to flow backward towards the temperature sensor unit so that the pressure of the purge gas near the temperature sensor unit increases. By so doing, with a small amount of purge gas, the gas pressure around the temperature sensor unit can be made to be an intermediate flow or a viscous flow, and the total amount of supplied purge gas can be suppressed, thereby contributing to a reduction in cost as a result.
(FR) La présente invention concerne une pompe à vide permettant de mesurer avec précision et à moindre coût la température d'une pièce rotative ; une colonne de stator de la pompe à vide ; une base ; et un système d'échappement de pompe à vide. Dans la pompe à vide selon le présent mode de réalisation, un joint d'étanchéité du type à rainure filetée est prévu dans un trajet d'écoulement de gaz de purge, du côté aval d'une unité de capteur de température, et amène une partie du gaz de purge à être refoulée vers l'unité de capteur de température de sorte que la pression du gaz de purge augmente à proximité de l'unité de capteur de température. Ainsi, avec une petite quantité de gaz de purge, la pression de gaz autour de l'unité de capteur de température peut être amenée à former un écoulement intermédiaire ou un écoulement visqueux, ce qui rend superflue la quantité totale du gaz de purge et contribue ainsi à réduire les coûts.
(JA) 【課題】精度良く、且つ低コストで回転部の温度を測定する真空ポンプ、真空ポンプのステータコラム、ベースおよび真空ポンプの排気システムを提供する。 【解決手段】本実施形態に係る真空ポンプは、パージガスの流路において、温度センサユニットの下流側に、パージガスの一部を温度センサユニット側に逆流させるネジ溝式シールを設け、温度センサユニット付近のパージガスの圧力を上げる。こうすることで、少量のパージガスで、温度センサユニット周りのガス圧力が中間流または粘性流とすることができ、供給するパージガスの総量を抑制でき、結果としてコストダウンに貢献できる。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)