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1. (WO2020004023) メンテナンス装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2020/004023 国際出願番号: PCT/JP2019/023190
国際公開日: 02.01.2020 国際出願日: 12.06.2019
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306
化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065
プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
上田 雄大 UEDA, Takehiro; JP
廣瀬 潤 HIROSE, Jun; JP
手塚 一幸 TEZUKA, Kazuyuki; JP
代理人:
特許業務法人酒井国際特許事務所 SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; 東京都千代田区霞が関3丁目8番1号 虎の門三井ビルディング Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013, JP
優先権情報:
2018-11944825.06.2018JP
発明の名称: (EN) MAINTENANCE DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTENANCE
(JA) メンテナンス装置
要約:
(EN) This maintenance device has a cover and a fixing member. The cover is in a vacuum atmosphere during substrate processing, is formed in a size corresponding to a boundary line between a first part and a second part of a processing container that can be separated into the first part and the second part, or in a size corresponding to an opening surface formed by separating the first part and the second part, and has airtightness and visual transparency in at least a portion thereof. A fixing member tightly fixes the cover along the boundary line between the first part and the second part of the processing container or to the opening surface formed by separating the first part and the second part.
(FR) L'invention concerne un dispositif de maintenance qui a un couvercle et un élément de fixation. Le couvercle est dans une atmosphère sous vide pendant le traitement du substrat, est formé dans une taille correspondant à une ligne de délimitation entre une première partie et une seconde partie d'un récipient de traitement qui peut être séparé en la première partie et la seconde partie, ou dans une taille correspondant à une surface d'ouverture formée par séparation de la première partie et de la seconde partie, et présente une étanchéité à l'air et une transparence visuelle dans au moins une partie de celle-ci. Un élément de fixation fixe étroitement le couvercle le long de la ligne de délimitation entre la première partie et la seconde partie du récipient de traitement ou à la surface d'ouverture formée par séparation de la première partie et de la seconde partie
(JA) メンテナンス装置は、カバーと、固定部材とを有する。カバーは、基板処理の際に真空雰囲気とされ、第1パーツと第2パーツに分離可能とされた処理容器の第1パーツと第2パーツの境界線または第1パーツと第2パーツとを分離した開口面に対応するサイズに形成され、気密性および少なくとも一部に視覚的透過性を有する。固定部材は、カバーを、処理容器の第1パーツと第2パーツの境界線に沿ってまたは第1パーツと第2パーツとを分離した開口面に密着固定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)