国際・国内特許データベース検索
このアプリケーションの一部のコンテンツは現在ご利用になれません。
この状況が続く場合は、次のお問い合わせ先までご連絡ください。ご意見・お問い合わせ
1. (WO2020003795) 開閉弁およびこの開閉弁を備えた基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2020/003795 国際出願番号: PCT/JP2019/019506
国際公開日: 02.01.2020 国際出願日: 16.05.2019
IPC:
F16K 31/08 (2006.01) ,F16K 31/06 (2006.01) ,H01L 21/304 (2006.01)
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
02
電気;磁気
06
磁石使用
08
永久磁石使用
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
31
操作手段;釈放装置
02
電気;磁気
06
磁石使用
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
04
少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18
不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期律表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30
21/20~21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302
表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
304
機械的処理,例.研摩,ポリシング,切断
出願人:
株式会社SCREENホールディングス SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; 京都府京都市上京区堀川通寺之内上る4丁目天神北町1番地の1 Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585, JP
発明者:
楠原 充也 KUSUHARA Mitsuya; JP
代理人:
杉谷 勉 SUGITANI Tsutomu; JP
優先権情報:
2018-12492229.06.2018JP
発明の名称: (EN) OPENING/CLOSING VALVE AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE PROVIDED WITH SAID OPENING/CLOSING VALVE
(FR) SOUPAPE D'OUVERTURE/FERMETURE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ÉQUIPÉ DE LADITE SOUPAPE D'OUVERTURE/FERMETURE
(JA) 開閉弁およびこの開閉弁を備えた基板処理装置
要約:
(EN) In this opening/closing valve (9), a valve body-side electromagnet part (43) is provided on the valve body (41) side, and a permanent magnet part (36) is provided on a valve seat (35) side. When a current supply circuit (11) supplies a first direction current to the valve body-side electromagnet part (43), the valve body-side electromagnet part (43) generates a magnetic field. Therefore, the valve body-side electromagnet part (43) is pulled toward the permanent magnet part (36). In other words, forces due to the magnetic field, which pulls the valve body (41) and the valve seat (35) toward each other, act upon the valve body (41) and the valve seat (35). Accordingly, the valve body (41) approaches the valve seat part (35) and is pressed against the valve seat part (35). In addition, the valve body (41) can be pressed against the valve seat part (35) uniformly in the circumferential direction of the valve seat part (35). Thus, contact between the valve body (41) and the valve seat part (35) can be reliably achieved, and the occurrence of leaks can be prevented.
(FR) Dans cette soupape d'ouverture/fermeture (9), une partie électroaimant côté corps de soupape (43) est disposée sur le côté corps de soupape (41), et une partie aimant permanent (36) est disposée sur un côté siège de soupape (35). Lorsqu'un circuit d'alimentation en courant (11) fournit un premier courant de direction à la partie électroaimant côté corps de soupape (43), la partie électroaimant côté corps de soupape (43) génère un champ magnétique. Par conséquent, la partie électroaimant côté corps de soupape (43) est tirée vers la partie aimant permanent (36). En d'autres termes, les forces dues au champ magnétique, qui tire le corps de soupape (41) et le siège de soupape (35) l'un vers l'autre, agissent sur le corps de soupape (41) et le siège de soupape (35). En conséquence, le corps de soupape (41) s'approche de la partie siège de soupape (35) et est pressé contre la partie siège de soupape (35). De plus, le corps de soupape (41) peut être pressé contre la partie siège de soupape (35) uniformément dans la direction circonférentielle de la partie de siège de soupape (35). Ainsi, le contact entre le corps de soupape (41) et la partie siège de soupape (35) peut être obtenu de manière fiable, et l'apparition de fuites peut être empêchée.
(JA) 開閉弁(9)において、弁体(41)側には弁体側電磁石部(43)が設けられ、弁座部(35)側には永久磁石部(36)が設けられている。電流供給回路(11)が弁体側電磁石部(43)に第1方向の電流を供給すると、弁体側電磁石部(43)は磁界を生成する。そのため、弁体側電磁石部(43)は、永久磁石部(36)に引き付けられる。すなわち、弁体(41)と弁座部(35)には、磁界による引き付け合う力が働く。これにより、弁座部(35)に弁体(41)が近づけられ、弁座部(35)に弁体(41)が押し付けられる。また、弁座部(35)の周方向に均一に弁体(41)を弁座部(35)に押し付けることができる。これにより、弁体(41)と弁座部(35)との接触を確実にすることができ、リーク発生を防止することができる。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関 (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)