(EN) The present invention pertains to a curable composition for imprinting which contains a monofunctional polymerizable compound having a structure described below, a photoinitiator, and a releasing agent represented by Formula (I) or (II).
The monofunctional polymerizable compound comprises a linear or branched alkyl group or an alicyclic, aromatic, or heteroaromatic ring substituted with a linear or branched alkyl group.
The release agent is represented by the following formulas. Formula (I): A1-(B1)x1-(D1)y1-(E1)z1-F1
Formula (II): A2-(B2)x2-(D2)y2-(E2)z2-F2. A1 and A2 represent a linear aliphatic hydrocarbon group having 4 to 11 carbon atoms, D1 and D2 are an alkylene oxide structure, F1 is a polar functional group, and F2 is a hydrogen atom or a linear, branched, or cyclic aliphatic hydrocarbon group having 4 to 11 carbon atoms. The present invention further pertains to a release agent, a cured object, a pattern formation method, and a lithography method related to the curable composition for imprinting.
(FR) L'invention concerne une composition durcissable pour empreinte qui contient un composé polymérisable monofonctionnel possédant la structure mentionnée ci-dessous, et un agent de démoulage représenté par la formule (I) ou la formule (II). Le composé polymérisable monofonctionnel consiste soit en un groupe alkyle à chaîne droite ou ramifié, soit en un composé alicyclique, un cycle aromatique ou un hétérocycle aromatique substitué par un groupe alkyle à chaîne droite ou ramifié. L'agent de démoulage est représenté par la formule (I) A1-(B1)x1-(D1)y1-(E1)z1-F1 ou la formule (II) A2-(B2)x2-(D2)y2-(E2)z2-F2 , A1 etA2 représentent un groupe hydrocarbure aliphatique à chaîne droite de 4 à 11 atomes de carbone, D1 et D2 représentent une structure d'oxyde d'alkylène, F1 représente un groupe fonctionnel polaire, et F2 représente un atome d'hydrogène, ou un groupe hydrocarbure aliphatique à chaîne droite, ramifié ou cyclique de 4 à 11 atomes de carbone. L'invention concerne également un agent de démoulage, un article durci, un procédé de formation de motif, et un procédé de lithographie associés à cette composition durcissable pour empreinte.
(JA) 下記構造を有する単官能重合性化合物、光重合開始剤および下記式(I)または式(II)で表される離型剤を含む、インプリント用硬化性組成物;
:単官能重合性化合物 直鎖または分岐のアルキル基、あるいは、直鎖または分岐のアルキル基が置換した、脂環、芳香族環または芳香族複素環
:離型剤 A1-(B1)x1-(D1)y1-(E1)z1-F1 :式(I) A2-(B2)x2-(D2)y2-(E2)z2-F2 :式(II) A1、A2は炭素数4~11の直鎖の脂肪族炭化水素基を表し、D1、D2はアルキレンオキシド構造であり、F1は極性官能基であり、F2は水素原子、炭素数4~11の直鎖、または分岐もしくは環状の脂肪族炭化水素基である。さらに、本発明は、このインプリント用硬化性組成物に関連する離型剤、硬化物、パターン形成方法およびリソグラフィー方法に関する。