The present invention pertains to a curable composition for imprinting which contains a monofunctional polymerizable compound having a structure described below, a photoinitiator, and a releasing agent represented by Formula (I) or (II). The monofunctional polymerizable compound comprises a linear or branched alkyl group or an alicyclic, aromatic, or heteroaromatic ring substituted with a linear or branched alkyl group. The release agent is represented by the following formulas. Formula (I): A¹-(B¹)_x1-(D¹)_y1-(E¹)_z1-F¹ Formula (II): A²-(B²)_x2-(D²)_y2-(E²)_z2-F². A¹ and A² represent a linear aliphatic hydrocarbon group having 4 to 11 carbon atoms, D¹ and D² are an alkylene oxide structure, F¹ is a polar functional group, and F² is a hydrogen atom or a linear, branched, or cyclic aliphatic hydrocarbon group having 4 to 11 carbon atoms. The present invention further pertains to a release agent, a cured object, a pattern formation method, and a lithography method related to the curable composition for imprinting.

L'invention concerne une composition durcissable pour empreinte qui contient un composé polymérisable monofonctionnel possédant la structure mentionnée ci-dessous, et un agent de démoulage représenté par la formule (I) ou la formule (II). Le composé polymérisable monofonctionnel consiste soit en un groupe alkyle à chaîne droite ou ramifié, soit en un composé alicyclique, un cycle aromatique ou un hétérocycle aromatique substitué par un groupe alkyle à chaîne droite ou ramifié. L'agent de démoulage est représenté par la formule (I) Ａ^１－（Ｂ^１）_ｘ１－（Ｄ^１）_ｙ１－（Ｅ^１）_ｚ１－Ｆ^１ ou la formule (II) Ａ^２－（Ｂ^２）_ｘ２－（Ｄ^２）_ｙ２－（Ｅ^２）_ｚ２－Ｆ^２ , Ａ^１ etＡ^２ représentent un groupe hydrocarbure aliphatique à chaîne droite de 4 à 11 atomes de carbone, Ｄ^１ et Ｄ^２ représentent une structure d'oxyde d'alkylène, Ｆ^１ représente un groupe fonctionnel polaire, et Ｆ^２ représente un atome d'hydrogène, ou un groupe hydrocarbure aliphatique à chaîne droite, ramifié ou cyclique de 4 à 11 atomes de carbone. L'invention concerne également un agent de démoulage, un article durci, un procédé de formation de motif, et un procédé de lithographie associés à cette composition durcissable pour empreinte.

下記構造を有する単官能重合性化合物、光重合開始剤および下記式（Ｉ）または式（ＩＩ）で表される離型剤を含む、インプリント用硬化性組成物； ：単官能重合性化合物　直鎖または分岐のアルキル基、あるいは、直鎖または分岐のアルキル基が置換した、脂環、芳香族環または芳香族複素環 ：離型剤　Ａ^１－（Ｂ^１）_ｘ１－（Ｄ^１）_ｙ１－（Ｅ^１）_ｚ１－Ｆ^１　：式（Ｉ）　Ａ^２－（Ｂ^２）_ｘ２－（Ｄ^２）_ｙ２－（Ｅ^２）_ｚ２－Ｆ^２　：式（ＩＩ）　Ａ^１、Ａ^２は炭素数４～１１の直鎖の脂肪族炭化水素基を表し、Ｄ^１、Ｄ^２はアルキレンオキシド構造であり、Ｆ^１は極性官能基であり、Ｆ^２は水素原子、炭素数４～１１の直鎖、または分岐もしくは環状の脂肪族炭化水素基である。さらに、本発明は、このインプリント用硬化性組成物に関連する離型剤、硬化物、パターン形成方法およびリソグラフィー方法に関する。