処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

出願の表示

1. WO2019188274 - 保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び保持方法

公開番号 WO/2019/188274
公開日 03.10.2019
国際出願番号 PCT/JP2019/010191
国際出願日 13.03.2019
IPC
H01L 21/68 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68位置決め,方向決め,または整列のためのもの
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
CPC
G03F 7/20
GPHYSICS
03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR;
7Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
20Exposure; Apparatus therefor
H01L 21/68
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
68for positioning, orientation or alignment
出願人
  • 株式会社ニコン NIKON CORPORATION [JP]/[JP]
発明者
  • 青木保夫 AOKI, Yasuo
代理人
  • 片山修平 KATAYAMA, Shuhei
優先権情報
2018-06980930.03.2018JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) HOLDING APPARATUS, LIGHT EXPOSURE APPARATUS, FLAT PANEL DISPLAY PRODUCTION METHOD, DEVICE PRODUCTION METHOD, AND HOLDING METHOD
(FR) APPAREIL DE MAINTIEN, APPAREIL D'EXPOSITION À LA LUMIÈRE, PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'AFFICHAGE À ÉCRAN PLAT, PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MAINTIEN
(JA) 保持装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、デバイス製造方法、及び保持方法
要約
(EN)
Provided is a holding apparatus that holds an object in order to hold a substrate at a high degree of flatness. The holding apparatus comprises: an object-holding member that holds the object; a support member that supports the object-holding member; and a support apparatus that supports the object-holding member and the support member. The object-holding member is supported by the support member via a plurality of first supported parts on the object-holding member. The support member is supported by the support apparatus via a second supported part on the support member. The first supported parts are provided at a lower position than the second supported part.
(FR)
L'invention concerne un appareil de maintien qui maintient un objet afin de maintenir un substrat à un degré élevé de planéité. L'appareil de support comprend : un élément de maintien d'objet qui maintient l'objet; un élément de support qui supporte l'élément de maintien d'objet; et un appareil de support qui supporte l'élément de maintien d'objet et l'élément de support. L'élément de maintien d'objet est supporté par l'élément de support par l'intermédiaire d'une pluralité de premières parties supportées sur l'élément de maintien d'objet. L'élément de support est supporté par l'appareil de support par l'intermédiaire d'une seconde partie supportée sur l'élément de support. Les premières parties supportées sont disposées à une position inférieure à celle de la seconde partie supportée
(JA)
基板を高い平面度で保持するため、物体を保持する保持装置であって、前記物体を保持する物体保持部材と、前記物体保持部材を支持する支持部材と、前記物体保持部材および前記支持部材を支持する支持装置と、を備え、前記物体保持部材は、前記物体保持部材の複数の第1被支持部を介して前記支持部材に支持され、前記支持部材は、前記支持部材の第2被支持部を介して前記支持装置に支持され、前記第1被支持部は、前記第2被支持部よりも低い位置に設けられる、保持装置である。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報