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1. WO2019078053 - 圧電デバイス及びその製造方法

公開番号 WO/2019/078053
公開日 25.04.2019
国際出願番号 PCT/JP2018/037636
国際出願日 10.10.2018
IPC
H01L 41/083 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
08圧電または電歪素子
083積み重ねまたは多層構造をもつもの
H01L 41/193 2006.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
16材料の選択
18圧電または電歪素子用
193高分子組成物
H01L 41/293 2013.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
29電極,リードまたは端子配置の形成
293積層型圧電装置または積層型電歪装置の接続電極
H01L 41/297 2013.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
29電極,リードまたは端子配置の形成
297積層型圧電装置または積層型電歪装置の内部電極
H01L 41/45 2013.1
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
41圧電装置一般;電歪装置一般;磁歪装置一般;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置;それらの装置の細部
22圧電または電歪装置またはその部品の組み立て,製造または処理に特に適用される方法または装置
35圧電材料または電歪材料の形成
45有機材料
H04R 17/00 2006.1
H電気
04電気通信技術
Rスピーカ,マイクロホン,蓄音機ピックアップまたは類似の音響電気機械変換器;補聴器;パブリックアドレスシステム
17圧電型変換器;電わい型変換器
CPC
H01L 41/083
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
08Piezo-electric or electrostrictive devices
083having a stacked or multilayer structure
H01L 41/193
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
16Selection of materials
18for piezo-electric or electrostrictive devices ; , e.g. bulk piezo-electric crystals
193Macromolecular compositions ; , e.g. piezo-electric polymers
H01L 41/293
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
29Forming electrodes, leads or terminal arrangements
293Connection electrodes of multilayered piezo-electric or electrostrictive parts
H01L 41/297
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
29Forming electrodes, leads or terminal arrangements
297Individual layer electrodes of multilayered piezo-electric or electrostrictive parts
H01L 41/45
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
41Piezo-electric devices in general; Electrostrictive devices in general; Magnetostrictive devices in general; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
22Processes or apparatus specially adapted for the assembly, manufacture or treatment of piezo-electric or electrostrictive devices or of parts thereof
35Forming piezo-electric or electrostrictive materials
45Organic materials
H04R 17/00
HELECTRICITY
04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
17Piezo-electric transducers; Electrostrictive transducers
出願人
  • パナソニックIPマネジメント株式会社 PANASONIC INTELLECTUAL PROPERTY MANAGEMENT CO., LTD. [JP]/[JP]
発明者
  • 中 順一 NAKA Jun'ichi
  • 新井 秀幸 ARAI Hideyuki
  • 尾関 俊明 OZEKI Toshiaki
  • 小畑 幸嗣 OBATA Koji
代理人
  • 鎌田 健司 KAMATA Kenji
  • 前田 浩夫 MAEDA Hiroo
優先権情報
2017-20222618.10.2017JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (ja)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PIEZOELECTRIC DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
(FR) DISPOSITIF PIÉZOÉLECTRIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 圧電デバイス及びその製造方法
要約
(EN) Provided are a piezoelectric device which, even though a plurality of piezoelectric layers having the same piezoelectric characteristics are stacked and the opposed surfaces of adjacent piezoelectric layers are not electrically insulated, is capable of generating a voltage corresponding to a tensile force when one is applied, and a method of manufacturing the same. The piezoelectric device (1) comprises a plurality of alternately stacked layers of piezoelectric layers (10) included in a first group and piezoelectric layers (20) included in a second group, with electrically conductive layers (30) interposed between the piezoelectric layers (10) and the piezoelectric layers (20) adjacent to each other. The piezoelectric layers (10) included in the first group and the piezoelectric layers (20) included in the second group are stretched resin films having the same piezoelectric characteristics. The piezoelectric layers (10) included in the first group have the same stretch direction, and the piezoelectric layers (20) included in the second group have the same stretched direction. The stretched direction of the piezoelectric layers (10) included in the first group and the stretched direction of the piezoelectric layers (20) included in the second group intersect each other.
(FR) L'invention concerne un dispositif piézoélectrique qui, même si une pluralité de couches piézoélectriques ayant les mêmes caractéristiques piézoélectriques sont empilées et si les surfaces opposées de couches piézoélectriques adjacentes ne sont pas isolées électriquement, permet de générer une tension correspondant à une force de traction lorsqu'une force est appliquée, et son procédé de fabrication. Le dispositif piézoélectrique (1) comprend une pluralité de couches empilées alternativement de couches piézoélectriques (10) comprises dans un premier groupe et de couches piézoélectriques (20) comprises dans un second groupe, des couches électro-conductrices (30) étant interposées entre les couches piézoélectriques (10) et les couches piézoélectriques (20) adjacentes les unes aux autres. Les couches piézoélectriques (10) comprises dans le premier groupe et les couches piézoélectriques (20) comprises dans le second groupe sont des films de résine étirés ayant les mêmes caractéristiques piézoélectriques. Les couches piézoélectriques (10) comprises dans le premier groupe ont la même direction d'étirement, et les couches piézoélectriques (20) comprises dans le second groupe ont la même direction d'étirement. La direction d'étirement des couches piézoélectriques (10) comprises dans le premier groupe et la direction d'étirement des couches piézoélectriques (20) comprises dans le second groupe se coupent.
(JA) 同じ圧電特性を有する複数の圧電層が積層され、かつ隣り合う圧電層の対向し合う面の間が電気的に絶縁されていなくても、引張力が加えられた場合に引張力に応じた電圧を生じさせることができる圧電デバイス及びその製造方法を提供する。圧電デバイス(1)は、第一の群に含まれる圧電層(10)と第二の群に含まれる圧電層(20)とが交互に並んで複数積層し、隣り合う圧電層(10)と圧電層(20)との間に導電層(30)が介在する。第一の群に含まれる圧電層(10)と第二の群に含まれる圧電層(20)とは、同一の圧電特性を有する延伸樹脂フィルムである。第一の群に含まれる圧電層(10)の延伸方向はいずれも同一方向であり、第二の群に含まれる圧電層(20)の延伸方向はいずれも同一方向である。第一の群に含まれる圧電層(10)の延伸方向と第二の群に含まれる圧電層(20)の延伸方向とは交差する。
関連特許文献
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