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1. (WO2019067885) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/067885 国際出願番号: PCT/US2018/053403
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 28.09.2018
IPC:
H01J 37/32 (2006.01) ,F16K 51/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
J
電子管または放電ランプ
37
放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
32
ガス入り放電管
F 機械工学;照明;加熱;武器;爆破
16
機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段
K
弁;栓;コック;作動のフロート;排気または吸気装置
51
弁などの締め切り装置の特別な形に特有でないその他の細部
02
高真空装置に特に適用されたもの
出願人:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
発明者:
RIORDON, Benjamin B.; US
CARLSON, Charles T.; US
WEBB, Aaron; US
WYKA, Gary; US
代理人:
PATTERSON, B. Todd; US
DOUGHERTY, Chad M.; US
優先権情報:
62/565,91529.09.2017US
発明の名称: (EN) DUAL PORT REMOTE PLASMA CLEAN ISOLATION VALVE
(FR) VANNE D'ISOLEMENT DOUBLE VOIE POUR NETTOYAGE PAR PLASMA À DISTANCE
要約:
(EN) The present disclosure generally relates to an isolation device for use in processing systems. The isolation device has a body with an inlet opening disposed at a first end coupled to a processing system component such as a remote plasma source and outlet openings, for example two, disposed at a second end which are coupled to a processing system component such as a process chamber. Flaps disposed within the body are actuatable to an open position from a closed position or to a closed position from an open position, to selectively allow or prevent passage of a fluid from the processing system component coupled to the isolation device to the other processing system component coupled thereto.
(FR) De manière générale, la présente divulgation concerne un dispositif d'isolement destiné à être utilisé dans des systèmes de traitement. Le dispositif d'isolement comprend un corps pourvu d'une ouverture d'admission ménagée à une première extrémité raccordée à un composant de système de traitement tel qu'une source de plasma à distance et d'ouvertures d'évacuation, par exemple deux, ménagées à une seconde extrémité qui sont raccordées à un composant de système de traitement tel qu'une chambre de traitement. Des clapets logés à l'intérieur du corps peuvent être actionnés jusqu'à une position ouverte à partir d'une position fermée ou jusqu'à une position fermée à partir d'une position ouverte, pour permettre ou empêcher sélectivement le passage d'un fluide entre le composant de système de traitement raccordé au dispositif d'isolement et l'autre composant de système de traitement raccordé à celui-ci.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)