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1. (WO2019066829) DIRECT SELF-ASSEMBLY PROCESS FOR FORMATION OF SELECTOR OR MEMORY LAYERS ON A VERTICAL RRAM MEMORY FOR LEAKAGE CURRENT MINIMIZATION
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国際公開番号: WO/2019/066829 国際出願番号: PCT/US2017/053852
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 28.09.2017
IPC:
H01L 45/00 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
45
電位障壁または表面障壁をもたず,整流,増幅,発振またはスイッチングに特に適用される固体装置,例.誘電体三極素子;オブシンスキー効果装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人:
LILAK, Aaron D. [US/US]; US
THEOFANIS, Patrick [US/US]; US
KENCKE, David L. [US/US]; US
KOTLYAR, Roza [US/US]; US
INTEL CORPORATION [US/US]; 2200 Mission College Boulevard Santa Clara, California 95054, US
発明者:
LILAK, Aaron D.; US
THEOFANIS, Patrick; US
KENCKE, David L.; US
KOTLYAR, Roza; US
代理人:
SULLIVAN, Stephen G.; US
BRASK, Justin K.; US
AUYEUNG, Al; US
BERNADICOU, Michael A.; US
BLAIR, Steven R.; US
BLANK, Eric S.; US
COFIELD, Michael A.; US
DANSKIN, Timothy A.; US
HALEVA, Aaron S.; US
MAKI, Nathan R.; US
MARLINK, Jeffrey S.; US
MOORE, Michael S.; US
PARKER, Wesley E.; US
PUGH, Joseph A.; US
RASKIN, Vladimir; US
STRAUSS, Ryan N.; US
WANG, Yuke; US
YATES, Steven D.; US
ROJO, Estiven; US
優先権情報:
発明の名称: (EN) DIRECT SELF-ASSEMBLY PROCESS FOR FORMATION OF SELECTOR OR MEMORY LAYERS ON A VERTICAL RRAM MEMORY FOR LEAKAGE CURRENT MINIMIZATION
(FR) PROCESSUS D'AUTO-ASSEMBLAGE DIRECT POUR LA FORMATION DE COUCHES DE SÉLECTION OU DE MÉMOIRE SUR UNE MÉMOIRE RRAM VERTICALE PERMETTANT DE RÉDUIRE AU MINIMUM UN COURANT DE FUITE
要約:
(EN) An integrated circuit structure includes a stack of alternating first conductive layers and insulator layers. A plurality of etch pits are through the first conductive layers. A plurality of selectors are in the etch pits adjacent to the first conductive layers. A memory material layer is adjacent to the plurality of selectors in the etch pits, wherein one of the plurality of selectors and the memory material layer is self-aligned and has a hemispherical side facing the corresponding etch pit.
(FR) La présente invention concerne une structure de circuit intégré qui comprend un empilement de premières couches conductrices et de couches isolantes alternées. Une pluralité de dislocations sont formées à travers les premières couches conductrices. Une pluralité de sélecteurs se trouvent dans les dislocations adjacentes aux premières couches conductrices. Une couche de matériau de mémoire est adjacente à la pluralité de sélecteurs dans les dislocations, un sélecteur de la pluralité de sélecteurs et de la couche de matériau de mémoire étant auto-aligné et comportant un côté hémisphérique faisant face à la dislocation correspondante.
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 英語 (EN)
国際出願言語: 英語 (EN)