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1. (WO2019065690) 交換結合膜ならびにこれを用いた磁気抵抗効果素子および磁気検出装置
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国際公開番号: WO/2019/065690 国際出願番号: PCT/JP2018/035590
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 26.09.2018
IPC:
H01L 43/10 (2006.01) ,G01R 33/09 (2006.01) ,H01F 10/32 (2006.01) ,H01F 41/18 (2006.01) ,H01F 41/22 (2006.01) ,H01L 43/08 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
10
材料の選択
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
06
電流磁気装置を使用するもの
09
磁気抵抗装置を使用するもの
H 電気
01
基本的電気素子
F
磁石;インダクタンス;変成器;それらの磁気特性による材料の選択
10
磁性薄膜,例.1磁区構造のもの
32
スピン変換連結の多層,例,極小構造の超格子
H 電気
01
基本的電気素子
F
磁石;インダクタンス;変成器;それらの磁気特性による材料の選択
41
このサブクラスに包含される装置の製造または組立に特に適合した装置または工程
14
基体に磁性膜を適用するためのもの
18
陰極スパッタリングによるもの
H 電気
01
基本的電気素子
F
磁石;インダクタンス;変成器;それらの磁気特性による材料の選択
41
このサブクラスに包含される装置の製造または組立に特に適合した装置または工程
14
基体に磁性膜を適用するためのもの
22
熱処理;熱分解;化学蒸着(CVD)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
08
磁界制御抵抗
出願人:
アルプスアルパイン株式会社 ALPS ALPINE CO., LTD. [JP/JP]; 東京都大田区雪谷大塚町1番7号 1-7, Yukigaya-otsukamachi, Ota-ku, Tokyo 1458501, JP
発明者:
齋藤 正路 SAITO, Masamichi; JP
小池 文人 KOIKE, Fumihito; JP
遠藤 広明 ENDO, Hiroaki; JP
代理人:
大窪 克之 OKUBO, Katsuyuki; JP
優先権情報:
2017-18654327.09.2017JP
発明の名称: (EN) EXCHANGE COUPLED FILM, AND MAGNETORESISTANCE EFFECT ELEMENT AND MAGNETISM DETECTION DEVICE USING SAME
(FR) FILM À COUPLAGE D'ÉCHANGE, ET ÉLÉMENT À EFFET DE MAGNÉTORÉSISTANCE ET DISPOSITIF DE DÉTECTION DE MAGNÉTISME L'UTILISANT
(JA) 交換結合膜ならびにこれを用いた磁気抵抗効果素子および磁気検出装置
要約:
(EN) According to the present invention, an exchange coupled film 10 that has a fixed magnetic layer for which a magnetic field (Hex) in which the magnetization direction thereof inverts is large, that is highly stable at high temperatures, and that has excellent high-field magnetoresistance is formed by laminating an antiferromagnetic layer 2, a fixed magnetic layer 3, and a free magnetic layer 5. The antiferromagnetic layer 2 comprises a PtCr layer 2A and an XMn layer 2B (X being Pt or Ir). The XMn layer B contacts the fixed magnetic layer 3. The fixed magnetic layer 3 is iron, cobalt, an iron-cobalt alloy, or an iron nickel alloy.
(FR) Selon la présente invention, un film à couplage d'échange 10 qui a une couche magnétique fixe pour laquelle un champ magnétique (Hex) dans lequel la direction de magnétisation de celui-ci s'inverse est grande, qui est hautement stable à des températures élevées, et qui a une excellente magnétorésistance à champ élevé est formé par stratification d'une couche antiferromagnétique 2, d'une couche magnétique fixe 3, et d'une couche magnétique libre 5. La couche antiferromagnétique 2 comprend une couche de PtCr 2A et une couche de XMn 2B (où X est du Pt ou de l'Ir). La couche de XMn 2B est en contact avec la couche magnétique fixe 3. La couche magnétique fixe 3 est du fer, du cobalt, un alliage fer-cobalt, ou un alliage de fer-nickel.
(JA) 固定磁性層の磁化の向きが反転する磁界(Hex)が大きく高温条件下における安定性が高く、しかも強磁場耐性に優れる交換結合膜10は、反強磁性層2と固定磁性層3とフリー磁性層5とが積層され、反強磁性層2はPtCr層2AとXMn層2B(ただし、XはPtまたはIr)とからなり、XMn層Bが固定磁性層3に接しており、固定磁性層3が鉄、コバルト、鉄コバルト合金または鉄ニッケル合金である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)