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1. (WO2019065477) 光学フィルタの製造方法
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国際公開番号: WO/2019/065477 国際出願番号: PCT/JP2018/034941
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 21.09.2018
IPC:
G02B 5/20 (2006.01) ,G03F 7/004 (2006.01) ,H01L 27/146 (2006.01)
G 物理学
02
光学
B
光学要素,光学系,または光学装置
5
レンズ以外の光学要素
20
フィルター
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
04
クロム酸塩
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
27
1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置
14
赤外線,可視光,短波長の電磁波または粒子線輻射に感応する半導体構成部品で,これらの輻射線エネルギーを電気的エネルギーに変換するかこれらの輻射線によって電気的エネルギーを制御するかのどちらかに特に適用されるもの
144
輻射線によって制御される装置
146
固体撮像装置構造
出願人:
富士フイルム株式会社 FUJIFILM CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西麻布2丁目26番30号 26-30, Nishiazabu 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1068620, JP
発明者:
奈良 裕樹 NARA Yuki; JP
大河原 昂広 OKAWARA Takahiro; JP
代理人:
特許業務法人特許事務所サイクス SIKS & CO.; 東京都中央区京橋一丁目8番7号 京橋日殖ビル8階 8th Floor, Kyobashi-Nisshoku Bldg., 8-7, Kyobashi 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1040031, JP
優先権情報:
2017-18963329.09.2017JP
発明の名称: (EN) OPTICAL FILTER MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILTRE OPTIQUE
(JA) 光学フィルタの製造方法
要約:
(EN) Provided is an optical filter manufacturing method with which it is possible to accurately form pixels having high rectangularity in a region partitioned by a separating wall, or at a position corresponding to a region partitioned by a separating wall. The optical filter manufacturing method comprises: a step of forming a colored photosensitive composition layer by applying, onto a support having separating walls and including a plurality of regions partitioned by the separating walls, a colored photosensitive composition which includes a colorant and a curable compound, the colored photosensitive composition containing the colorant by not less than 10 mass% in a total solid content; a step of irradiating, using a scanner exposure machine, the colored photosensitive composition layer with light of a wavelength of not more than 300 nm to expose the colored photosensitive composition layer in a pattern; and a step of developing and removing an unexposed portion of the colored photosensitive composition layer, and forming pixels in the regions partitioned by the separating walls, or at positions corresponding to the regions partitioned by the separating walls.
(FR) La présente invention concerne un procédé de fabrication de filtre optique avec lequel il est possible de former avec précision des pixels ayant une rectangularité élevée dans une région divisée par une paroi de séparation, ou à une position correspondant à une région divisée par une paroi de séparation. Le procédé de fabrication de filtre optique comprend : une étape de formation d'une couche de composition photosensible colorée par application, sur un support ayant des parois de séparation et comprenant une pluralité de régions séparées par les parois de séparation, d'une composition photosensible colorée qui comprend un colorant et un composé durcissable, la composition photosensible colorée contenant le colorant en une quantité supérieure ou égale à 10 % en masse dans un contenu solide total ; une étape d'irradiation, à l'aide d'une machine d'exposition de scanner, de la couche de composition photosensible colorée ayant une lumière d'une longueur d'onde inférieure ou égale à 300 nm pour exposer la couche de composition photosensible colorée selon un motif ; et une étape de développement et de retrait d'une partie non exposée de la couche de composition photosensible colorée, et de formation de pixels dans les régions divisées par les parois de séparation, ou à des positions correspondant aux régions divisées par les parois de séparation.
(JA) 隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に矩形性の良い画素を精度よく形成できる光学フィルタの製造方法を提供する。この光学フィルタの製造方法は、隔壁を有する支持体であって、隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に、色材と硬化性化合物とを含み色材を全固形分中に10質量%以上含有する着色感光性組成物を塗布して着色感光性組成物層を形成する工程と、スキャナ露光機を用いて着色感光性組成物層に波長300nm以下の光を照射して着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して、隔壁で区画された領域内、または、隔壁で区画された領域に対応する位置に画素を形成する工程と、を含む。
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)