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1. (WO2019065418) サンプリング装置
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国際公開番号: WO/2019/065418 国際出願番号: PCT/JP2018/034663
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 19.09.2018
IPC:
G01N 1/02 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
N
材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
1
サンプリング;調査用標本の調製
02
試料取出しのための装置
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
田村 明威 TAMURA Akitake; JP
代理人:
永井 浩之 NAGAI Hiroshi; JP
中村 行孝 NAKAMURA Yukitaka; JP
佐藤 泰和 SATO Yasukazu; JP
朝倉 悟 ASAKURA Satoru; JP
森 秀行 MORI Hideyuki; JP
優先権情報:
2017-19094429.09.2017JP
発明の名称: (EN) SAMPLING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'ÉCHANTILLONNAGE
(JA) サンプリング装置
要約:
(EN) In order to enable the reliable collection of particles in a suctioned gas and prevent the discharge of water mist, this sampling device (10) is provided with a container (21), air intake holes (33) provided in the container (21), and an exhaust pipe (24). The air intake holes (33) extend downward with respect to an orthogonal surface (21B) that is orthogonal to the axial line (21A) of the container (21). A spiral flow of a gas and a liquid is formed inside the container (21) by exhausting the gas from the exhaust pipe (24), and a liquid film (40) is formed inside the container (21). An opening (33a) of each of the air intake holes (33) opens in a region other than the liquid film (40), and the suctioned gas is jetted from the air intake holes (33) toward the liquid film (40).
(FR) Afin de permettre une collecte fiable de particules dans un gaz aspiré et d'empêcher le rejet d'un brouillard d'eau, l'invention concerne un dispositif d'échantillonnage (10) comprenant un récipient (21), des trous d'admission d'air (33) situés dans le récipient (21) et un tuyau d'échappement (24). Les trous d'admission d'air (33) s'étendent vers le bas par rapport à une surface orthogonale (21B) qui est orthogonale à la ligne axiale (21A) du récipient. Un écoulement en spirale d'un gaz et d'un liquide est formé à l'intérieur du récipient (21) par l'évacuation du gaz du tuyau d'échappement (24), et un film liquide (40) est formé à l'intérieur du récipient (21). Une ouverture (33a) de chacun des trous d'admission d'air (33) s'ouvre dans une zone autre que le film liquide (40), et le gaz aspiré est éjecté depuis les trous d'admission d'air (33) vers le film liquide (40).
(JA) 吸気気体中の粒子を確実に捕集することができ、かつ水分ミストの放出を防止する。 サンプリング装置(10)は容器(21)と、容器(21)に設けられた吸気孔(33)と、排気管(24)とを備える。吸気孔(33)は容器(21)の軸線(21A)に直交する直交面(21B)に対して下方に向かって延びている。排気管(24)から排気をすることにより、容器(21)内に気体と液体のらせん流が形成され、容器(21)内に液膜(40)が形成される。吸気孔(33)の開口部(33a)は液膜(40)以外の領域に開口し、吸気孔(33)からの吸気気体は、液膜(40)に向かって噴出する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)