このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2019065244) 磁気センサの製造方法及び磁気センサ集合体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/065244 国際出願番号: PCT/JP2018/033810
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 12.09.2018
IPC:
G01R 33/02 (2006.01) ,H01L 43/12 (2006.01)
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
33
磁気的変量を測定する計器または装置
02
磁界または磁束の方向または大きさの測定
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
43
電流磁気効果またはこれに類似な磁気効果を利用した装置;それらの装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
12
これらの装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
出願人:
昭和電工株式会社 SHOWA DENKO K.K. [JP/JP]; 東京都港区芝大門一丁目13番9号 13-9, Shiba Daimon 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058518, JP
発明者:
遠藤 大三 ENDO, Daizo; JP
代理人:
古部 次郎 FURUBE, Jiro; JP
加藤 謹矢 KATO, Kinya; JP
優先権情報:
2017-19044829.09.2017JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR PRODUCING MAGNETIC SENSOR AND MAGNETIC SENSOR ASSEMBLY
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN CAPTEUR MAGNÉTIQUE ET ENSEMBLE CAPTEUR MAGNÉTIQUE
(JA) 磁気センサの製造方法及び磁気センサ集合体
要約:
(EN) Provided is a method for producing a magnetic sensor, the method comprising: a soft-magnetic-layer-deposition step in which a soft magnetic layer 101 constituting a magnetic field sensing part 21 is deposited on a substrate 10 by magnetron sputtering; and a sensing-part-forming step for forming the magnetic field sensing part 21 in a portion of the soft magnetic layer 101, the portion having uniaxial magnetic anisotropy due to the magnetic field used for magnetron sputtering.
(FR) L'invention concerne un procédé de production d'un capteur magnétique, le procédé comprenant : le dépôt d'une couche magnétique molle dans laquelle une couche magnétique molle (101) constituant une partie de détection de champ magnétique (21) est déposée sur un substrat (10) par pulvérisation magnétron ; et la formation d'une partie de détection permettant de former la partie de détection de champ magnétique (21) dans une partie de la couche magnétique molle (101), la partie présentant une anisotropie magnétique uniaxiale due au champ magnétique utilisé pour la pulvérisation magnétron.
(JA) 磁気センサの製造方法は、マグネトロンスパッタリングにより、基板10上に磁界を感受する感受部21を構成する軟磁性体層101を堆積する軟磁性体層堆積工程と、軟磁性体層101のマグネトロンスパッタリングに用いた磁界により一軸磁気異方性が付与された部分に、磁界を感受する感受部21を形成する感受部形成工程とを含む。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)