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1. (WO2019064891) 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法
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国際公開番号: WO/2019/064891 国際出願番号: PCT/JP2018/028493
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 30.07.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 9/22 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
9
プログラム制御マニプレータ
16
プログラム制御
22
記録または再生システム
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07
半導体ウェハーのためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
出願人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
発明者:
吉田 雅也 YOSHIDA, Masaya; --
野口 健治 NOGUCHI, Kenji; --
岡田 拓之 OKADA, Hiroyuki; --
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
2017-19161929.09.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING POSITIONAL RELATIONSHIP BETWEEN SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT AND SUBSTRATE CARRYING UNIT
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE RELATION DE POSITION ENTRE UN ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET UNE UNITÉ TRANSPORTEUSE DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及び基板搬送ロボットと基板載置部との位置関係を求める方法
要約:
(EN) The invention comprises: a step of detecting, with an object detection sensor, a portion of the surface of a target in a plurality of rotational positions where a rotational position when the rotational axis of the target on a substrate carrying unit serves as the rotational center and/or a rotational position when a robot reference axis in a detection region serves as the rotation center is changed, wherein the portion of the surface of the target is positioned at the inner side of a predetermined circle, which is centered on the rotational axis, through which the target passes; a step of determining, for each of the plurality of rotational positions, a quantity correlated with a reference length, which represents the distance from the robot reference axis to the target when the target is detected with the object detection sensor; and a step of determining the positional relationship between the robot reference axis and the rotational axis on the basis of the rotational position, from among the plurality of rotation positions, for which the quantity correlated with the reference length is maximum or minimum.
(FR) L'invention comprend : une étape de détection, à l'aide d'un capteur de détection d'objet, d'une partie de la surface d'une cible dans une pluralité de positions de rotation, une position de rotation lorsque l'axe de rotation de la cible sur une unité transporteuse de substrat sert de centre de rotation et/ou une position de rotation lorsqu'un axe de référence de robot dans une région de détection sert de centre de rotation étant changées, et la partie de la surface de la cible étant positionnée sur le côté interne d'un cercle prédéfini, qui est centré sur l'axe de rotation, par lequel passe la cible ; une étape de détermination, pour chaque position de rotation de la pluralité de positions de rotation, d'une quantité corrélée à une longueur de référence, qui représente la distance de l'axe de référence de robot à la cible lorsque la cible est détectée à l'aide du capteur de détection d'objet ; et une étape de détermination de la relation de position entre l'axe de référence de robot et l'axe de rotation sur la base de la position de rotation, parmi la pluralité de positions de rotation, pour laquelle la quantité corrélée à la longueur de référence est maximale ou minimale.
(JA) 基板載置部上のターゲットの回転軸を回転中心とする回転位置、及び、検出領域のロボット基準軸を回転中心とする回転位置のうち少なくとも一方を変化させた複数の回転位置において、ターゲットの表面の一部分であって回転軸を中心とし且つターゲットを通過する所定の円周の内周側に位置する部分を物体検出センサで検出するステップと、複数の回転位置の各々について、物体検出センサでターゲットを検出したときのロボット基準軸からターゲットまでの距離を表す指標長さと相関関係のある量を求めるステップと、複数の回転位置のうち指標長さと相関関係のある量が最大又は最小になるものに基づいて、ロボット基準軸と回転軸との位置関係を求めるステップとを含む。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)