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1. (WO2019064890) 基板搬送装置及び基板載置部の回転軸の探索方法
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国際公開番号: WO/2019/064890 国際出願番号: PCT/JP2018/028451
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 30.07.2018
IPC:
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 13/08 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/68 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
677
移送のためのもの,例.異なるワ―クステーション間での移送
B 処理操作;運輸
25
手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ
J
マニプレータ;マニプレータ装置を持つ小室
13
マニプレータの制御
08
センサー手段,例.視覚または触覚装置,によるもの
B 処理操作;運輸
65
運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い
G
運搬または貯蔵装置,例.荷積みまたは荷あげ用コンベヤ;工場コンベヤシステムまたは空気管コンベヤ
49
他の分類に属せず,特殊な目的に適用されることを特徴とする移送装置
05
もろい,または損傷性材料または物品用のもの
07
半導体ウェハーのためのもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67
製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
68
位置決め,方向決め,または整列のためのもの
出願人:
川崎重工業株式会社 KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 兵庫県神戸市中央区東川崎町3丁目1番1号 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670, JP
発明者:
吉田 雅也 YOSHIDA, Masaya; --
野口 健治 NOGUCHI, Kenji; --
岡田 拓之 OKADA, Hiroyuki; --
代理人:
特許業務法人 有古特許事務所 PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報:
2017-19161829.09.2017JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE AND SUBSTRATE CARRYING UNIT ROTATION AXIS SEARCH METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE RECHERCHE D'AXE DE ROTATION D'UNITÉ DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送装置及び基板載置部の回転軸の探索方法
要約:
(EN) The invention involves: detecting a target provided on a substrate carrying unit with an object detection sensor at each of a plurality of rotational positions of a substrate carrying unit, and determining a reference length, which is the distance from a robot reference axis to the target in a direction orthogonal to the axial direction, or information correlated to the reference length; determining at least one rotational position of a detection line from the rotational position when the robot reference axis serves as the rotational center and the rotational position when the rotational axis of the substrate carrying unit serves as the center for when a target positioned on a straight line connecting the robot reference axis and a rotational axis is detected, on the basis of the determined reference length or the information correlated thereto; and specifying, on the basis of the determined rotational position, the direction in which the rotational axis is present, as observed from the robot reference axis.
(FR) L'invention consiste à : détecter une cible disposée sur une unité de transport de substrat avec un capteur de détection d'objet au niveau de chacune d'une pluralité de positions de rotation d'une unité de transport de substrat, et déterminer une longueur de référence, qui est la distance d'un axe de référence de robot à la cible dans une direction orthogonale à la direction axiale, ou des informations corrélées à la longueur de référence ; déterminer au moins une position de rotation d'une ligne de détection à partir de la position de rotation lorsque l'axe de référence de robot sert de centre de rotation et la position de rotation lorsque l'axe de rotation de l'unité de support de substrat sert de centre pour lorsqu'une cible positionnée sur une ligne droite reliant l'axe de référence de robot et un axe de rotation est détectée, sur la base de la longueur de référence déterminée ou des informations corrélées à celle-ci ; et spécifier, sur la base de la position de rotation déterminée, la direction dans laquelle l'axe de rotation est présent, comme observé à partir de l'axe de référence de robot.
(JA) 基板載置部の複数の回転位置において、物体検出センサで基板載置部に設けられたターゲットを検出して、ロボット基準軸からターゲットまでの軸心方向と直交する方向の距離である指標長さ又はそれに相関する情報を求め、求めた指標長さ又はそれに相関する情報に基づいて、ロボット基準軸と回転軸とを結ぶ直線上に位置するターゲットを検出したときの、検出ラインのロボット基準軸を回転中心とする回転位置及び基板載置部の回転軸を中心とする回転位置の少なくとも一方の回転位置を求め、求めた回転位置に基づいて、ロボット基準軸から見た回転軸のある方向を特定する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)