このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2019064876) 検査システムおよび検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/064876 国際出願番号: PCT/JP2018/028245
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 27.07.2018
IPC:
H01L 21/66 (2006.01) ,G01R 31/26 (2014.01) ,G01R 31/28 (2006.01) ,H01L 21/02 (2006.01)
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66
製造または処理中の試験または測定
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26
個々の半導体装置の試験
G 物理学
01
測定;試験
R
電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31
電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
28
電子回路の試験,例.シグナルトレーサーによるもの
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
出願人:
東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 東京都港区赤坂五丁目3番1号 3-1 Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325, JP
発明者:
加賀美 徹也 KAGAMI Tetsuya; JP
代理人:
高山 宏志 TAKAYAMA Hiroshi; JP
優先権情報:
2017-18755928.09.2017JP
発明の名称: (EN) TESTING SYSTEM AND TESTING METHOD
(FR) SYSTÈME DE TEST ET PROCÉDÉ DE TEST
(JA) 検査システムおよび検査方法
要約:
(EN) This testing system comprises a prober, a tester, a prober control unit for controlling the prober, and a tester control unit for controlling the tester, wherein the tester control unit causes the tester to execute a test which is composed of a plurality of parts on a device to be tested formed on a test body in addition to acquiring an estimated test ending time when the test has reached a predetermined stage, and sends a control signal to the prober control unit so as to transfer the test body into a testing chamber housing the tester before the estimated test ending time.
(FR) Ce système de test comprend un sondeur, un testeur, une unité de commande de sondeur pour commander le sondeur, et une unité de commande de testeur pour commander le testeur; l'unité de commande de testeur amène le testeur à exécuter un test qui est composé d'une pluralité de parties sur un dispositif à tester formé sur un corps de test en plus de l'acquisition d'un temps de fin de test estimé lorsque le test a atteint une étape prédéterminée, et envoie un signal de commande à l'unité de commande de sondeur de façon à transférer le corps de test dans une chambre d'essai abritant le testeur avant le temps de fin de test estimé.
(JA) プローバと、テスタと、プローバを制御するプローバ制御部と、テスタを制御するテスタ制御部とを備えた検査システムであって、テスタ制御部は、テスタに被検査体に形成された被検査デバイスに対し、複数のパートから構成される検査を実行させるとともに、検査が所定の段階に達した際に、検査終了予定時刻を取得し、該検査終了予定時刻までに、被検査体がテスタを収容する検査室へ搬送されるように、プローバ制御部へ制御信号を送信する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)