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1. (WO2019064783) 下地基板、機能素子および下地基板の製造方法
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国際公開番号: WO/2019/064783 国際出願番号: PCT/JP2018/025154
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 03.07.2018
IPC:
C30B 29/38 (2006.01)
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
29
材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質
10
無機化合物または組成物
38
窒化物
出願人:
日本碍子株式会社 NGK INSULATORS, LTD. [JP/JP]; 愛知県名古屋市瑞穂区須田町2番56号 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi 4678530, JP
発明者:
坂井 正宏 SAKAI Masahiro; JP
大上 翔平 OUE Shohei; JP
後藤 万佐司 GOTO Masashi; JP
吉野 隆史 YOSHINO Takashi; JP
代理人:
細田 益稔 HOSODA Masutoshi; JP
青木 純雄 AOKI Sumio; JP
優先権情報:
2017-18634027.09.2017JP
発明の名称: (EN) BASE SUBSTRATE, FUNCTIONAL ELEMENT, AND PRODUCTION METHOD FOR BASE SUBSTRATE
(FR) SUBSTRAT DE BASE, ÉLÉMENT FONCTIONNEL ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION POUR SUBSTRAT DE BASE
(JA) 下地基板、機能素子および下地基板の製造方法
要約:
(EN) A base substrate 6 that comprises: a support substrate 1; and a base crystal layer 3 that is provided upon a main surface 1a of the support substrate 1, comprises crystals of a nitride of a group 13 element, and has a crystal growth surface 3a. The base crystal layer 3 comprises a bulge 5. Between the bulge 5 and the support substrate 1 is/are the product of a reaction between the material of the support substrate 1 and the crystals of a nitride of a group 13 element, a group 13 element, and/or voids.
(FR) L'invention concerne un substrat de base (6) qui comprend : un substrat de support (1) ; et une couche cristalline de base (3) qui est disposée sur une surface principale (1a) du substrat de support (1), comprend des cristaux d'un nitrure d'un élément du groupe 13, et possède une surface (3a) de croissance cristalline. La couche cristalline de base (3) comprend un renflement (5). Entre le renflement (5) et le substrat de support (1) se trouve(nt) le produit d'une réaction entre le matériau du substrat de support (1) et les cristaux d'un nitrure d'un élément du groupe 13, un élément du groupe 13 et/ou des vides.
(JA) 下地基板6は、支持基板1、および支持基板1の主面1a上に設けられ、13族元素窒化物結晶からなり、結晶育成面3aを有する下地結晶層3を備える。下地結晶層3が隆起部5を備えている。隆起部5と支持基板1との間に、支持基板1の材質と13族元素窒化物結晶との反応物、13族金属および/またはボイドが存在する。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)