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1. (WO2019064697) 坩堝支持台座、石英坩堝支持装置およびシリコン単結晶の製造方法
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国際公開番号: WO/2019/064697 国際出願番号: PCT/JP2018/021026
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 31.05.2018
IPC:
C30B 29/06 (2006.01) ,C30B 15/00 (2006.01)
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
29
材料または形状によって特徴づけられた単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質
02
元素
06
シリコン
C 化学;冶金
30
結晶成長
B
単結晶成長;共晶物質の一方向固化または共析晶物質の一方向析出;物質のゾーンメルティングによる精製;特定構造を有する均質多結晶物質の製造;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質;単結晶または特定構造を有する均質多結晶物質の後処理;そのための装置
15
融液からの引出しによる単結晶成長,例.チョクラルスキー法
出願人:
株式会社SUMCO SUMCO CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区芝浦一丁目2番1号 1-2-1, Shibaura, Minato-ku, Tokyo 1058634, JP
発明者:
宗実 賢二 MUNEZANE Kenji; JP
代理人:
特許業務法人樹之下知的財産事務所 KINOSHITA & ASSOCIATES; 東京都杉並区荻窪五丁目26番13号 3階 3rd Floor, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051, JP
優先権情報:
2017-19155329.09.2017JP
発明の名称: (EN) CRUCIBLE-SUPPORTING PEDESTAL, QUARTZ CRUCIBLE-SUPPORTING DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL
(FR) SOCLE DE SUPPORT DE CREUSET, DISPOSITIF DE SUPPORT DE CREUSET EN QUARTZ, ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D’UN MONOCRISTAL DE SILICIUM
(JA) 坩堝支持台座、石英坩堝支持装置およびシリコン単結晶の製造方法
要約:
(EN) A crucible supporting pedestal (12) is provided with a recessed fitting portion (122) to which a dividable graphite member (11) can fit, and is so configured that: an opening edge (123) of the recessed fitting portion (122) is arranged at such a position that a contacting portion (P1) of the recessed fitting portion (122) which contacts with the dividable graphite member (11) can become higher than the surface of a solidified product (M1) of a silicon melt which is left in a quartz crucible (221) after a silicon single crystal is grown; and a force acting on the dividable graphite member (11) in association with the expansion of the silicon melt during the solidification of the silicon melt can act on a lower position than the contacting portion (P1).
(FR) La présente invention concerne un socle de support de creuset (12) muni d’une partie d’ajustement renfoncée (122) à laquelle un élément en graphite divisable (11) peut s’ajuster, et est configuré de sorte que : un bord d’ouverture (123) de la partie d’ajustement renfoncée (122) est disposé au niveau d’une position telle qu’une partie de mise en contact (P1) de la partie d’ajustement renfoncée (122) qui entre en contact avec l’élément en graphite divisable (11) peut devenir supérieure à la surface d’un produit solidifié (M1) d’une masse fondue de silicium qui est laissée dans un creuset en quartz (221) après qu’un monocristal de silicium s'est développé ; et une force agissant sur l’élément en graphite divisable (11) en association avec l’expansion de la masse fondue de silicium durant la solidification de la masse fondue de silicium peut agir sur une position inférieure par rapport à la partie de mise en contact (P1).
(JA) 坩堝支持台座(12)は、分割黒鉛部材(11)が嵌合可能な嵌合凹部(122)を備え、嵌合凹部(122)の開口縁(123)は、分割黒鉛部材(11)との接触部(P1)が、シリコン単結晶の育成後に石英坩堝(221)に残っているシリコン融液の固化物(M1)の表面よりも高くなる位置に設けられ、シリコン融液の固化時の膨張に伴い分割黒鉛部材(11)に作用する力が、接触部(P1)よりも低い位置に作用するように構成されている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)