このアプリケーションの一部のコンテンツは現時点では利用できません。
このような状況が続く場合は、にお問い合わせくださいフィードバック & お問い合わせ
1. (WO2019064662) 共振子及び共振装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報    第三者情報を提供

国際公開番号: WO/2019/064662 国際出願番号: PCT/JP2018/016709
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 25.04.2018
IPC:
H03H 9/24 (2006.01)
H 電気
03
基本電子回路
H
インビーダンス回路網,例.共振回路;共振器
9
電気機械的または電気音響的素子を含む回路網;電気機械的共振器
24
圧電,電わい,または磁わい以外の材料からなる共振器の構造上の特徴
出願人:
株式会社村田製作所 MURATA MANUFACTURING CO., LTD. [JP/JP]; 京都府長岡京市東神足1丁目10番1号 10-1, Higashikotari 1-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto 6178555, JP
発明者:
井上 義久 INOUE, Yoshihisa; JP
河合 良太 KAWAI, Ryota; JP
代理人:
稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki; JP
大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi; JP
優先権情報:
2017-18820828.09.2017JP
発明の名称: (EN) RESONATOR AND RESONANCE DEVICE
(FR) RÉSONATEUR ET DISPOSITIF DE RÉSONANCE
(JA) 共振子及び共振装置
要約:
(EN) In order to suppress the influence on the resonance frequency of an electric charge on an insulator layer on a resonator or of a conductive layer on the insulator layer, and to improve strength, this resonance device is provided with: a vibration unit which comprises a vibrating arm which has a fixed end and an open end and performs bending vibration, and a base which comprises a front end connected to the fixed end of the vibrating arm and a back end opposite of said front end; a holding unit which is provided so as to surround at least part of the vibration unit; and a holding arm which connects the vibration unit and the holding unit. The vibration unit comprises: an upper electrode and a lower electrode; a piezoelectric film which is provided between the upper electrode and the lower electrode, has a primary surface facing the upper electrode, and which causes the vibrating arm to perform bending vibration when a voltage is applied between the upper electrode and the lower electrode; a protective film formed from an insulator which is provided facing the principal surface of the piezoelectric film with the upper electrode held therebetween and which is exposed in a first region of the vibrating arm; a conductive film which is provided facing the principal surface of the piezoelectric film with the protective film held therebetween and which is exposed in a second region, which is a region adjacent to the first region of the vibrating arm and near the open end; and a via electrode which is formed on the protective film and which electrically connects the conductive film to either the upper electrode or the lower electrode. Looking at the principal surface of the piezoelectric film in planar view, the via electrode is positioned in an area in the second region of the vibrating arm, nearer to the first region than the open end.
(FR) L’invention concerne, afin de supprimer l'influence sur la fréquence de résonance d'une charge électrique sur une couche isolante sur un résonateur ou d'une couche conductrice sur la couche isolante, et pour améliorer la résistance, ce dispositif de résonance comprenant : une unité de vibration qui comprend un bras vibrant qui a une extrémité fixe et une extrémité ouverte et effectue une vibration de flexion, et une base qui comprend une extrémité avant reliée à l'extrémité fixe du bras vibrant et une extrémité arrière opposée à ladite extrémité avant ; une unité de maintien qui est disposée de façon à entourer au moins une partie de l'unité de vibration ; et un bras de maintien qui relie l'unité de vibration et l'unité de maintien. L'unité de vibration comprend : une électrode supérieure et une électrode inférieure ; un film piézoélectrique qui est disposé entre l'électrode supérieure et l'électrode inférieure, présente une surface principale faisant face à l'électrode supérieure, et qui amène le bras vibrant à effectuer une vibration de flexion lorsqu'une tension est appliquée entre l'électrode supérieure et l'électrode inférieure ; un film protecteur formé à partir d'un isolant qui est disposé en regard de la surface principale du film piézoélectrique avec l'électrode supérieure maintenue entre eux et qui est exposé dans une première région du bras vibrant ; un film conducteur qui est disposé en regard de la surface principale du film piézoélectrique avec le film protecteur maintenu entre eux et qui est exposé dans une seconde région, qui est une région adjacente à la première région du bras vibrant et à proximité de l'extrémité ouverte ; et une électrode de trou d'interconnexion qui est formée sur le film de protection et qui connecte électriquement le film conducteur à l'électrode supérieure ou à l'électrode inférieure. En regardant la surface principale du film piézoélectrique en vue en plan, l'électrode de trou d'interconnexion est positionnée dans une zone dans la seconde région du bras vibrant, plus proche de la première région que l'extrémité ouverte.
(JA) 共振子上の絶縁体層又は、絶縁体層上の導電層に帯電した電荷が共振周波数に与える影響を抑制するとともに、強度の向上を図ることができる。 固定端と開放端とを有し、屈曲振動する振動腕、並びに、振動腕の固定端に接続される前端、及び当該前端に対向する後端を有する基部、を有する振動部と、振動部の少なくとも一部を囲むように設けられた保持部と、振動部と保持部とを接続する保持腕とを備え、振動部は、上部電極及び下部電極と、上部電極と下部電極との間に設けられ、上部電極に対向する主面を有し、上部電極及び下部電極の間に電圧が印加されたときに振動腕を屈曲振動させる、圧電膜と、上部電極を挟んで圧電膜の主面と対向して設けられ、振動腕における第1領域において露出した、絶縁体からなる保護膜と、保護膜を挟んで圧電膜の主面と対向して設けられ、振動腕における第1領域と隣接する開放端近傍の領域である第2領域において露出した、導電膜と、保護膜に形成され、導電膜を上部電極及び下部電極のいずれか一方に電気的に接続するビア電極とを有し、ビア電極は、圧電膜の主面を平面視したとき、振動腕の第2領域内であって、開放端よりも第1領域に近い部分に位置する。
front page image
指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)