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1. (WO2019064426) 蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法
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国際公開番号: WO/2019/064426 国際出願番号: PCT/JP2017/035217
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 28.09.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,H01L 51/50 (2006.01) ,H05B 33/10 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
51
能動部分として有機材料を用い,または能動部分として有機材料と他の材料との組み合わせを用いる固体装置;このような装置またはその部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
50
光放出に特に適用されるもの,例.有機発光ダイオード(OLED)または高分子発光ダイオード(PLED)
H 電気
05
他に分類されない電気技術
B
電気加熱;他に分類されない電気照明
33
エレクトロルミネッセンス光源
10
エレクトロルミネッセンス光源の製造に特に適用する装置または方法
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
発明者:
西口 昌男 NISHIGUCHI, Masao; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION SOURCE, VAPOR DEPOSITION DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING VAPOR DEPOSITION FILM
(FR) SOURCE DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR, DISPOSITIF DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN FILM DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(JA) 蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法
要約:
(EN) A vapor deposition source (1) is provided with an accommodating part (2) for accommodating vapor deposition particles (11), and a plurality of nozzles (3) arranged in a line along an X-axis direction, the plurality of nozzles at end parts in the X-axis direction of the accommodating part protruding in an oblique direction toward the end parts in the X-axis direction, the arrangement density of the nozzles in the end parts in the X-axis direction of the accommodating part being greater than the arrangement density of nozzles in a center part of the accommodating part, and a line (L2) connecting top end surfaces (32) of adjacent nozzles in the end parts in the X-axis direction of the accommodating part being a straight line.
(FR) L'invention concerne une source de dépôt en phase vapeur (1), qui est pourvue d'une partie de réception (2), destinée à recevoir des particules de dépôt en phase vapeur (11), et d'une pluralité de buses (3) agencées en ligne le long d'une direction d'axe X, la pluralité de buses au niveau de parties d'extrémité dans la direction d'axe X de la partie de réception faisant saillie dans une direction oblique vers les parties d'extrémité dans la direction d'axe X, la densité d'agencement des buses dans les parties d'extrémité dans la direction d'axe X de la partie de réception étant supérieure à la densité d'agencement de buses dans une partie centrale de la partie de réception, et une ligne (L2) reliant des surfaces d'extrémité supérieure (32) de buses adjacentes dans les parties d'extrémité dans la direction d'axe X de la partie de réception étant une ligne droite.
(JA) 蒸着源(1)は、蒸着粒子(11)を収容する収容部(2)と、X軸方向に沿ってライン状に配列された複数のノズル(3)と、を備え、収容部のX軸方向端部の複数のノズルは、X軸方向端部に向かって斜め方向に突出し、収容部のX軸方向端部におけるノズルの配設密度は、収容部の中央部におけるノズルの配設密度よりも高く、収容部のX軸方向端部において隣り合うノズルの上端面(32)同士を結ぶ線(L2)が直線状である。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)