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1. (WO2019064419) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
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国際公開番号: WO/2019/064419 国際出願番号: PCT/JP2017/035194
国際公開日: 04.04.2019 国際出願日: 28.09.2017
IPC:
C23C 14/24 (2006.01) ,C23C 14/04 (2006.01)
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22
被覆の方法に特徴のあるもの
24
真空蒸着
C 化学;冶金
23
金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C
金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般
14
被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
04
選択された表面部分の被覆,例.マスクを用いるもの
出願人:
シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 大阪府堺市堺区匠町1番地 1, Takumi-cho, Sakai-ku, Sakai City, Osaka 5908522, JP
発明者:
山渕 浩二 YAMABUCHI, Koji; --
中島 信作 NAKAJIMA, Shinsaku; --
代理人:
特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK; 大阪府大阪市北区天神橋2丁目北2番6号 大和南森町ビル Daiwa Minamimorimachi Building, 2-6, Tenjinbashi 2-chome Kita, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300041, JP
優先権情報:
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION MASK AND VAPOR DEPOSITION MASK MANUFACTURING METHOD
(FR) MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE MASQUE POUR DÉPÔT EN PHASE VAPEUR
(JA) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
要約:
(EN) In the present invention, effective sections (YA) formed in a mask sheet (15) are provided so as to extend over a plurality of active regions (3) of a substrate to be vapor-deposited. The effective sections (YA) have a first region (YA1) and second regions (YA2). The first region (YA1) is provided in a shape corresponding to each of the active regions (3). In the second regions (YA2), a shielding section (25) that is outside the first region (YA1) and that shields a plurality of vapor deposition holes (H) is provided.
(FR) Dans la présente invention, des sections efficaces (YA) sont formées dans une feuille de masque (15) disposées de façon à s'étendre sur une pluralité de régions actives (3) d'un substrat devant faire l'objet d'un dépôt en phase vapeur. Les sections efficaces (YA) ont une première région (YA1) et des secondes régions (YA2). La première région (YA1) présente une forme correspondant à chacune des régions actives (3). Les secondes régions (YA2) comprennent une section de protection (25) qui est à l'extérieur de la première région (YA1) et qui protège une pluralité de trous de dépôt en phase vapeur (H).
(JA) マスクシート(15)に形成された有効部(YA)は被蒸着基板の複数のアクティブ領域(3)に跨るように設けられ、有効部(YA)は、第1領域(YA1)および第2領域(YA2)を有し、第1領域(YA1)は、アクティブ領域(3)毎にアクティブ領域(3)に対応する形状に設けられ、第2領域(YA2)には、第1領域(YA1)外であって、複数の蒸着孔(H)を遮蔽する遮蔽部(25)が設けられている。
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指定国: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)